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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 其他交流 » 磁控溅射仪器求助
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df1990

木虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射仪器求助 已有1人参与

磁控溅射镀膜仪更换真空计之后，仪器抽真空速度显著下降，以前只需要2-3小时现在要8个钟头。仪器检漏未查到问题，求大神解救
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生命是一场无限的蜕变
1楼 2016-07-22 15:05:39
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chennn

木虫 (小有名气)
换回原来的真空计呢

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2楼2016-07-22 17:09:03
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df1990

木虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by chennn at 2016-07-22 17:09:03
换回原来的真空计呢

原来的真空计坏掉了，就寄回厂家维修。维修之后就出现了高真空抽的慢的情况
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生命是一场无限的蜕变
3楼2016-07-22 17:53:31
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海幻666888

金虫 (正式写手)
真空计是哪个厂家的，是否校准过？

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4楼2016-07-23 05:52:33
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chennn

木虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by df1990 at 2016-07-22 17:53:31
原来的真空计坏掉了，就寄回厂家维修。维修之后就出现了高真空抽的慢的情况...

真空计常用的就，电阻规，电离规，坏了就直接换根新的，价格便宜，一般情况下是真空计原因，设备不可能突然间漏气。抽得慢也抽的了高真空？
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5楼2016-07-23 08:25:21
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df1990

木虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by chennn at 2016-07-23 08:25:21
真空计常用的就，电阻规，电离规，坏了就直接换根新的，价格便宜，一般情况下是真空计原因，设备不可能突然间漏气。抽得慢也抽的了高真空？...

对也能抽到高真空，就是速度慢
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生命是一场无限的蜕变
6楼2016-07-23 08:48:42
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vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
df1990: 金币+2, ★有帮助 2016-07-23 15:32:41
换新部件到真空腔内是有可能抽真空变慢的，因为新部件吸附了大量气体分子，抽一段时间看看吧

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7楼2016-07-23 10:01:01
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df1990

木虫 (小有名气)
引用回帖:
7楼: Originally posted by vincentwz at 2016-07-23 10:01:01
换新部件到真空腔内是有可能抽真空变慢的，因为新部件吸附了大量气体分子，抽一段时间看看吧

真空计是腔体外部控制的，对于腔体没有做改动，感觉怀疑的因素太多了不知道那个是主要的了
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生命是一场无限的蜕变
8楼2016-07-23 15:32:23
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zhougbnju

金虫 (著名写手)
真空计除一下气试试

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9楼2016-07-23 17:29:26
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凯派斯

新虫 (小有名气)
应该没有校准吧

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10楼2016-07-23 22:48:55
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