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磁控溅射仪器求助 已有1人参与
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| 磁控溅射镀膜仪更换真空计之后，仪器抽真空速度显著下降，以前只需要2-3小时现在要8个钟头。仪器检漏未查到问题，求大神解救 |
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【答案】应助回帖
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换新部件到真空腔内是有可能抽真空变慢的，因为新部件吸附了大量气体分子，抽一段时间看看吧 发自小木虫Android客户端 |
7楼2016-07-23 10:01:01
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zhougbnju
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