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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 求助 掠角沉积
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zhangmin927

金虫 (小有名气)

[求助] 求助 掠角沉积

文献里讲到用 glancing angle deposition （掠角沉积）的方法做一个Thin films of nanoporous columnar TiO2纳米多孔薄膜柱状 TiO2 ，谁知道是怎么做的？ 掠角沉积的方法要用到什么仪器？磁控溅射镀膜仪可以吗？
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1楼 2012-11-07 16:22:34
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蒋青松

荣誉版主 (著名写手)

优秀版主优秀版主优秀版主
顶一下········
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2楼2012-11-08 08:21:45
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ieslijie

铜虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
日本一个组的文章？要模板的，做起来很费劲儿，不建议尝试。一个样品长好了您也能博士毕业了。
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3楼2012-11-08 15:17:26
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zhangmin927

金虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by ieslijie at 2012-11-08 15:17:26
日本一个组的文章？要模板的，做起来很费劲儿，不建议尝试。一个样品长好了您也能博士毕业了。

不是吧？这么困难？我硕士，这篇文章是意大利和西班牙人合作的
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4楼2012-11-08 17:49:29
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落木萧萧

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
zhaohaixing: 金币+1, 鼓励交流 2012-12-07 13:51:41
引用回帖:
4楼: Originally posted by zhangmin927 at 2012-11-08 03:49:29
不是吧？这么困难？我硕士，这篇文章是意大利和西班牙人合作的...

If there is magnetosputtering system with RF target in your lab, I think you can do it.  The substrate should be rotated during the deposition.
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爱生活爱老婆
5楼2012-12-07 12:23:38
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gwtandhxl

铜虫 (初入文坛)
我也想知道呢  郁闷
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6楼2013-06-12 09:32:50
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ymshen1980

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

实验室其他同学做过，用的电子束蒸发方法，基片倾斜放置，不同倾斜角度对柱状结构影响很大，倾斜角度大孔隙率也越大，基片不旋转就是直的柱状结构，旋转的话可以得到螺旋状的结构，SEM照片特别漂亮。。。。
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7楼2013-06-13 09:40:44
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