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quxin1989

新虫 (初入文坛)

[求助] 导电衬底上半导体薄膜的电导率怎么测 已有1人参与

ITO导电玻璃为衬底,上面沉积了非晶硅薄膜,膜厚知道,想测电导率,用什么方法?
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guxue

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【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
四探针法可以测量薄膜的电阻率。但对设备要求比较高,具体的你可以咨询相应的厂家。
青出于蓝而胜于蓝
2楼2015-06-17 16:42:57
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