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[交流]
有没有研究硅基纳米线(柱)的
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单晶硅上做出纳米柱体,有没有研究这个方向的大家讨论一下,先说说我打算怎么做的,首先,硅片洗净后进行管式炉热氧化,二氧化硅的厚度大概是200nm左右,然后光刻,光刻完进行腐蚀去胶体,将二氧化硅掩膜复制到硅片上,然后进行化学刻蚀,配置一定浓度的HF和双氧水,将样品放入,进行水浴50°加热2h,有经验的学长或者前辈给指导一下,这种方案可行吗?有哪些不足的地方,都是为了科研,希望大家不要吝啬,我的金币有限只能给这么多,希望大家能不是为了金币而回帖。 祝好! |
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