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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术交流 » 有没有研究硅基纳米线（柱）的
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范少

银虫 (小有名气)

[交流] 有没有研究硅基纳米线（柱）的

单晶硅上做出纳米柱体，有没有研究这个方向的大家讨论一下，先说说我打算怎么做的，首先，硅片洗净后进行管式炉热氧化，二氧化硅的厚度大概是200nm左右，然后光刻，光刻完进行腐蚀去胶体，将二氧化硅掩膜复制到硅片上，然后进行化学刻蚀，配置一定浓度的HF和双氧水，将样品放入，进行水浴50°加热2h，有经验的学长或者前辈给指导一下，这种方案可行吗？有哪些不足的地方，都是为了科研，希望大家不要吝啬，我的金币有限只能给这么多，希望大家能不是为了金币而回帖。
祝好！
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1楼 2015-06-16 14:57:23
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zxyofsjtu

新虫 (小有名气)
★
范少(金币+1): 谢谢参与
电子束光刻，然后镀膜，再RIE刻蚀就行了吧

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2楼2015-06-16 15:06:28
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纳米之心

木虫 (文坛精英)
★
范少(金币+1): 谢谢参与
祝福楼主
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21楼2015-06-16 15:58:49
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lhx00555

至尊木虫 (文坛精英)
★
范少(金币+1): 谢谢参与
zhufu
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26楼2015-06-16 16:11:05
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zzssqq2004

木虫 (著名写手)
★
范少(金币+1): 谢谢参与
不会
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30楼2015-06-16 16:31:23
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hydzp3楼
2015-06-16 15:19   回复  
范少(金币+1): 谢谢参与
z
dmbb4楼
2015-06-16 15:28   回复  
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假大空5楼
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kinple6楼
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bb
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shcj8楼
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neu2349楼
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qqllqq10楼
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zhchzhsh207611楼
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slytjiaofei13楼
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qqaoqq14楼
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miaojiabing15楼
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kiss2008553716楼
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messengermu17楼
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zbdfwq577718楼
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zhinanerjin19楼
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SilenceGoo20楼
2015-06-16 15:58   回复  
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a
hbl21522楼
2015-06-16 16:04   回复  
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祝福
xtuchen23楼
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liucheng88324楼
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yaoyao14525楼
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virologik27楼
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小米山药28楼
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wasxnbe29楼
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deweini31楼
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LifePursuit32楼
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shenrenren33楼
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zhenwuhuang34楼
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sychy35楼
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祝福！
syhorchid36楼
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xiejf37楼
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一
raoreng38楼
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herongkun39楼
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