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[交流]
有没有研究硅基纳米线（柱）的
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单晶硅上做出纳米柱体，有没有研究这个方向的大家讨论一下，先说说我打算怎么做的，首先，硅片洗净后进行管式炉热氧化，二氧化硅的厚度大概是200nm左右，然后光刻，光刻完进行腐蚀去胶体，将二氧化硅掩膜复制到硅片上，然后进行化学刻蚀，配置一定浓度的HF和双氧水，将样品放入，进行水浴50°加热2h，有经验的学长或者前辈给指导一下，这种方案可行吗？有哪些不足的地方，都是为了科研，希望大家不要吝啬，我的金币有限只能给这么多，希望大家能不是为了金币而回帖。 祝好！ |
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