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范少

银虫 (小有名气)


[交流] 有没有研究硅基纳米线(柱)的

单晶硅上做出纳米柱体,有没有研究这个方向的大家讨论一下,先说说我打算怎么做的,首先,硅片洗净后进行管式炉热氧化,二氧化硅的厚度大概是200nm左右,然后光刻,光刻完进行腐蚀去胶体,将二氧化硅掩膜复制到硅片上,然后进行化学刻蚀,配置一定浓度的HF和双氧水,将样品放入,进行水浴50°加热2h,有经验的学长或者前辈给指导一下,这种方案可行吗?有哪些不足的地方,都是为了科研,希望大家不要吝啬,我的金币有限只能给这么多,希望大家能不是为了金币而回帖。
祝好!
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zxyofsjtu

新虫 (小有名气)



范少(金币+1): 谢谢参与
电子束光刻,然后镀膜,再RIE刻蚀就行了吧

[ 发自小木虫客户端 ]
2楼2015-06-16 15:06:28
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纳米之心

木虫 (文坛精英)



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祝福楼主
21楼2015-06-16 15:58:49
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lhx00555

至尊木虫 (文坛精英)



范少(金币+1): 谢谢参与
zhufu
26楼2015-06-16 16:11:05
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zzssqq2004

木虫 (著名写手)



范少(金币+1): 谢谢参与
不会
30楼2015-06-16 16:31:23
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hydzp3楼
2015-06-16 15:19   回复  
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z
dmbb4楼
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假大空5楼
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kinple6楼
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bb
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shcj8楼
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neu2349楼
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qqllqq10楼
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沐-浅夏12楼
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qqaoqq14楼
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zbdfwq577718楼
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SilenceGoo20楼
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a
hbl21522楼
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祝福
xtuchen23楼
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virologik27楼
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wasxnbe29楼
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