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nuning20新虫 (正式写手)
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SEM-EDS定量分析结果如何确定其物相
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对工业硅作SEM分析，并对其中夹杂物相作EDS，得出了各杂质的重量百分比以及原子百分比，现想通过各杂质的含量来确定可能存在何种物相，应如何分析？导师建议用XRD软件输入杂质元素，找其中可能与之结合的物相，该做法是否可取？如行之，应如何操作，望各位大神指点。 图中各点对应的EDS定量分析（原子%）： 标记 Si Ca Fe Al Ni Ti Mn Cu P V Zr spot1 52.96 35.52 0.96 4.54 5.56 0.25 - - 0.22 - - spot2 62.23 1.06 29.69 5.71 0.70 - 0.48 - 0.14 - - spot3 53.71 32.05 1.41 3.82 5.42 - - 1.98 0.10 1.49 - spot4 52.39 6.44 14.40 17.59 6.81 0.46 - - 0.22 1.07 0.62  图片1.jpg |
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