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mabo2008

金虫 (正式写手)

[求助] 单晶硅各向同性腐蚀液

单晶硅各向同性腐蚀液用什么呢?腐蚀速率快些的?
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事事我已抗争,成败不必在我。
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mabo2008

金虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 幸福少爷 at 2015-05-30 06:43:56
HNO3和HF的混合溶液,腐蚀很快,整块硅片一会就没了

比例多少呢?需要加热吗?
事事我已抗争,成败不必在我。
3楼2015-05-30 09:57:33
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幸福少爷

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

HNO3和HF的混合溶液,腐蚀很快,整块硅片一会就没了
Youjustfocus
2楼2015-05-30 06:43:56
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罗必达985298

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

HF:H2O2=5MON/L:0.2MON/L温度应该是80摄氏度。

[ 发自小木虫客户端 ]
守贵柔雌上善若水天下莫之能争
4楼2015-05-31 09:05:49
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