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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 网络生活区 » 有奖问答 » 学术帮助 » 单晶硅各向同性腐蚀液
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mabo2008

金虫 (正式写手)

[求助] 单晶硅各向同性腐蚀液

单晶硅各向同性腐蚀液用什么呢？腐蚀速率快些的？
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事事我已抗争，成败不必在我。
1楼 2015-05-29 18:47:36
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幸福少爷

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

HNO3和HF的混合溶液，腐蚀很快，整块硅片一会就没了
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Youjustfocus
2楼2015-05-30 06:43:56
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mabo2008

金虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 幸福少爷 at 2015-05-30 06:43:56
HNO3和HF的混合溶液，腐蚀很快，整块硅片一会就没了

比例多少呢？需要加热吗？
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事事我已抗争，成败不必在我。
3楼2015-05-30 09:57:33
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罗必达985298

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

HF：H2O2=5MON/L：0.2MON/L温度应该是80摄氏度。

[ 发自小木虫客户端 ]
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守贵柔雌上善若水天下莫之能争
4楼2015-05-31 09:05:49
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