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zhuyanjun

新虫 (初入文坛)

[交流] 想用铂靶溅射在玻璃上做铂对电极,请问可行么 已有4人参与

原来用的铂电极好像是铂箔粘在玻璃片上的 ,但是被夹子夹得坑坑娃娃的,现在做的研究要精确下铂电极的表面积,所以要新的电极,但是看了下铂电极好贵。 。
正好有溅射设备和铂靶,所以想是不是溅射在玻璃上。。但是研究室也没人懂,所以来小木虫问问,谢谢各位。
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zhuyanjun

新虫 (初入文坛)

谢谢上面各位
8楼2015-05-30 10:00:03
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FLYFWY

木虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
磁控溅射Pt没有问题,关键看你需要的电极是什么形状。
比如说在玻璃上只镀一部分区域的Pt,那肯定要把其他地方遮挡住。
如果是做阵列状的电极,那需要掩膜版。
此外还要考虑溅射的Pt与玻璃之间的结合力如何,如果太差的话建议
烘烤基片或者过渡层的方法。
2楼2015-05-29 15:46:04
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zhuyanjun

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by FLYFWY at 2015-05-29 15:46:04
磁控溅射Pt没有问题,关键看你需要的电极是什么形状。
比如说在玻璃上只镀一部分区域的Pt,那肯定要把其他地方遮挡住。
如果是做阵列状的电极,那需要掩膜版。
此外还要考虑溅射的Pt与玻璃之间的结合力如何,如果 ...

谢谢回答  过渡层是用什么材料呢。是像Cr/Au 这样的结构么 烘烤是在溅射之后么
原谅我啥都不懂
3楼2015-05-29 15:58:58
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FLYFWY

木虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by zhuyanjun at 2015-05-29 15:58:58
谢谢回答  过渡层是用什么材料呢。是像Cr/Au 这样的结构么 烘烤是在溅射之后么
原谅我啥都不懂...

你需要的过渡层是用来提高Pt与玻璃的结合力的,一般常用的是Cr、Ti、TiN,
因为我没有镀过Pt,只能给你提供一些常识性建议,具体的可以去查查别人
在玻璃上镀Pt的文献。
烘烤是指一边镀膜一边烘烤基片,增强膜基结合力和膜的质量。
当然不管怎么镀膜,把玻璃洗的越干净是准没错的O(∩_∩)O
4楼2015-05-29 16:20:31
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