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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 想用铂靶溅射在玻璃上做铂对电极，请问可行么
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zhuyanjun

新虫 (初入文坛)

[交流] 想用铂靶溅射在玻璃上做铂对电极，请问可行么 已有4人参与

原来用的铂电极好像是铂箔粘在玻璃片上的 ，但是被夹子夹得坑坑娃娃的，现在做的研究要精确下铂电极的表面积，所以要新的电极，但是看了下铂电极好贵。 。
正好有溅射设备和铂靶，所以想是不是溅射在玻璃上。。但是研究室也没人懂，所以来小木虫问问，谢谢各位。
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薄膜制备与特性

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1楼 2015-05-29 14:00:40
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zhuyanjun

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by FLYFWY at 2015-05-29 15:46:04
磁控溅射Pt没有问题，关键看你需要的电极是什么形状。
比如说在玻璃上只镀一部分区域的Pt，那肯定要把其他地方遮挡住。
如果是做阵列状的电极，那需要掩膜版。
此外还要考虑溅射的Pt与玻璃之间的结合力如何，如果 ...

谢谢回答  过渡层是用什么材料呢。是像Cr/Au 这样的结构么 烘烤是在溅射之后么
原谅我啥都不懂
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3楼2015-05-29 15:58:58
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FLYFWY

木虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
磁控溅射Pt没有问题，关键看你需要的电极是什么形状。
比如说在玻璃上只镀一部分区域的Pt，那肯定要把其他地方遮挡住。
如果是做阵列状的电极，那需要掩膜版。
此外还要考虑溅射的Pt与玻璃之间的结合力如何，如果太差的话建议
烘烤基片或者过渡层的方法。
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2楼2015-05-29 15:46:04
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FLYFWY

木虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by zhuyanjun at 2015-05-29 15:58:58
谢谢回答  过渡层是用什么材料呢。是像Cr/Au 这样的结构么 烘烤是在溅射之后么
原谅我啥都不懂...

你需要的过渡层是用来提高Pt与玻璃的结合力的，一般常用的是Cr、Ti、TiN，
因为我没有镀过Pt，只能给你提供一些常识性建议，具体的可以去查查别人
在玻璃上镀Pt的文献。
烘烤是指一边镀膜一边烘烤基片，增强膜基结合力和膜的质量。
当然不管怎么镀膜，把玻璃洗的越干净是准没错的O(∩_∩)O
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4楼2015-05-29 16:20:31
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Friend007

银虫 (知名作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
镀膜制备的薄膜和金属箔，很多特性是不一样的，比如电阻。楼主要注意

[ 发自小木虫客户端 ]
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5楼2015-05-29 18:09:16
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