| 查看: 1080 | 回复: 5 | ||
crysmat铁杆木虫 (知名作家)
|
[求助]
求教：如何利用二级溅射ITO或其他透明导电电极？ 已有1人参与
|
|
本人手边有一台直流等离子溅射仪（SEM镀金用的，无加热装置），想用它在样品上镀一层透明导电电极。但借来的ITO靶，怎么也镀不上，退火500度也没用。请问各位大侠，有什么办法么？或者应该用什么靶材更合适？ 多谢！！！！  |
回复此楼» 猜你喜欢
求调剂，本科吉大，一志愿华工339
已经有2人回复
-
意大利博洛尼亚大学招聘研究助理2名（2D材料/锂离子与钠离子电池方向）
已经有1人回复
-
高分子科学论文润色/翻译怎么收费?
已经有237人回复
-
关于碳量子点抗菌的研究
已经有15人回复
-
南大化学调剂
已经有11人回复
-
0703调剂
已经有2人回复
-
西南林业大学 招收高分子、化学背景-硕士调剂生！B区线 (工科)
已经有0人回复
-
1
已经有14人回复
-
0703 调剂
已经有4人回复
-
申请回稿延期一个月，编辑同意了。但系统上的时间没变，给编辑又写邮件了，没回复
已经有1人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 求助各位朋友，导电材料ITO薄膜用什么溶液腐蚀比较好？
已经有6人回复
- 透明导电材料，要块体，不要薄膜
已经有17人回复
- ITO可用作辅助电极么？
已经有6人回复
- 用ITO做工作电极，文献上这样连接的，看半天不明白怎么做的
已经有13人回复
- 关于ITO导电玻璃的清洗
已经有15人回复
- 有关磁控溅射ITO直流偏压电源的作用
已经有2人回复
- 怎么把AAO模板固定在玻璃电极上
已经有16人回复
- 关于ITO导电玻璃
已经有10人回复
- 求助ITO电极（导电玻璃电极）做阻抗的基本问题
已经有10人回复
- 求助：用万用表测试ITO导电玻璃 哪面电阻值应该比较大
已经有13人回复
- ITO作电极时为啥都要溅射一层金属呢？
已经有14人回复
- 导电玻璃属于离子导体吗？
已经有23人回复
- 银纳米线-透明导电薄膜-替代ITO的新材料-银纳米线广阔的应用前景
已经有12人回复
- 有没有人买过柔性衬底的ITO导电薄膜？
已经有19人回复
- 使用银丝墨的透明导电性薄膜问世，日本写真印刷与东丽薄膜加工公司量产
已经有6人回复
- 【求助】谁知道商业上应用的AZO透明导电薄膜的性能水平？
已经有7人回复
- 【求助】有没有做ITO/PET透明导电薄膜的
已经有14人回复
bytianping
金虫 (正式写手)
- 应助: 8 (幼儿园)
- 金币: 2568.1
- 散金: 44
- 红花: 1
- 帖子: 317
- 在线: 143.4小时
- 虫号: 527634
- 注册: 2008-03-18
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
2楼2014-11-10 21:20:01
crysmat
铁杆木虫 (知名作家)
- 应助: 33 (小学生)
- 金币: 10713.8
- 散金: 3361
- 红花: 5
- 帖子: 8155
- 在线: 223.1小时
- 虫号: 596253
- 注册: 2008-09-09
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
3楼2014-11-11 08:57:45
crysmat
铁杆木虫 (知名作家)
- 应助: 33 (小学生)
- 金币: 10713.8
- 散金: 3361
- 红花: 5
- 帖子: 8155
- 在线: 223.1小时
- 虫号: 596253
- 注册: 2008-09-09
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
4楼2014-11-11 09:09:34
bytianping
金虫 (正式写手)
- 应助: 8 (幼儿园)
- 金币: 2568.1
- 散金: 44
- 红花: 1
- 帖子: 317
- 在线: 143.4小时
- 虫号: 527634
- 注册: 2008-03-18
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
crysmat: 金币+10, ★★★很有帮助 2014-11-11 20:47:14
感谢参与，应助指数 +1
crysmat: 金币+10, ★★★很有帮助 2014-11-11 20:47:14
|
你用的设备与常用溅射仪器最大的区别在于背底真空与工作气体。由于是简易镀金的，对背底真空要求很低，机械泵真空即可，因此氧压往往是1-10Pa量级（镀出来的金属是不同程度氧化的，但导电性已经满足SEM测试要求）。再加上你用了空气作为工作气体，如此属于高氧压氛围，对ITO的导电不利（ITO的n型导电是由氧空位导致）。如果你仔细研究过文献，一定知道很多文献采用的是较低的氧分压，比如0.01-0.1Pa这个量级（决定导电性）。总的工作压强由氩气控制，一般为0.1-10Pa量级（决定了薄膜形貌）。此外，空气退火500度是弥补氧空位缺陷的工艺，哪怕你的ITO本身是导电的，退过火导电性也可能下降。个人认为你的实验主要原因是氧分压过高。确定有没有镀上膜，最方便的方法是在衬底上贴一小块胶布，或者用掩模板，然后直接可以肉眼观察是否有膜，或者用膜厚仪测具体厚度。目前只想到这么多，希望对您有帮助。以上。 |
5楼2014-11-11 16:43:15
crysmat
铁杆木虫 (知名作家)
- 应助: 33 (小学生)
- 金币: 10713.8
- 散金: 3361
- 红花: 5
- 帖子: 8155
- 在线: 223.1小时
- 虫号: 596253
- 注册: 2008-09-09
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
6楼2014-11-11 20:53:16
