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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 工艺设计 » 求教：如何利用二级溅射ITO或其他透明导电电极？
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crysmat

铁杆木虫 (知名作家)

[求助] 求教：如何利用二级溅射ITO或其他透明导电电极？已有1人参与

本人手边有一台直流等离子溅射仪（SEM镀金用的，无加热装置），想用它在样品上镀一层透明导电电极。但借来的ITO靶，怎么也镀不上，退火500度也没用。请问各位大侠，有什么办法么？或者应该用什么靶材更合适？
多谢！！！！
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1楼2014-11-10 10:20:18
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bytianping

金虫 (正式写手)
★
tyhjqxbz: 金币+1, 鼓励发帖交流求助，常来工艺技术版 2014-11-11 10:35:15
有点费解，既然没有镀上膜，楼主拿的什么样品退火？还是说镀上了膜但性能不好？怎么个不好法。。。
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Thescientistisnotapersonwhogivestherightanswers,he'sonewhoaskstherightquestions.--ClaudeLévi-Strauss
2楼2014-11-10 21:20:01
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crysmat

铁杆木虫 (知名作家)
引用回帖:
2楼: Originally posted by bytianping at 2014-11-10 21:20:01
有点费解，既然没有镀上膜，楼主拿的什么样品退火？还是说镀上了膜但性能不好？怎么个不好法。。。

我不清楚是否镀上，手边没法检测，只能测测电阻（但可惜是不导通的）。由于看到文献上是退火的，就拿去500度烧了两小时，还是不导电：（
我倒是可以去其他地方镀，但不知一个校区，比较麻烦，所以想用手边这个溅射仪试试。各位高手，给支个招吧。这里先谢啦。
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3楼2014-11-11 08:57:45
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crysmat

铁杆木虫 (知名作家)
对了，说一下我的条件。各位高手，给看看有没有出错的地方。多谢。
机械泵真空，10Pa，空气电离，15mA左右，ITO靶材，每次10分钟，共计约3小时（我认为时间够长了）。溅射完，取出，空气退火500度近3小时，自然降温。万用表测试不导电
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4楼2014-11-11 09:09:34
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bytianping

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
crysmat: 金币+10, ★★★很有帮助 2014-11-11 20:47:14
引用回帖:
4楼: Originally posted by crysmat at 2014-11-11 10:09:34
对了，说一下我的条件。各位高手，给看看有没有出错的地方。多谢。
机械泵真空，10Pa，空气电离，15mA左右，ITO靶材，每次10分钟，共计约3小时（我认为时间够长了）。溅射完，取出，空气退火500度近3小时，自 ...

你用的设备与常用溅射仪器最大的区别在于背底真空与工作气体。由于是简易镀金的，对背底真空要求很低，机械泵真空即可，因此氧压往往是1-10Pa量级（镀出来的金属是不同程度氧化的，但导电性已经满足SEM测试要求）。再加上你用了空气作为工作气体，如此属于高氧压氛围，对ITO的导电不利（ITO的n型导电是由氧空位导致）。如果你仔细研究过文献，一定知道很多文献采用的是较低的氧分压，比如0.01-0.1Pa这个量级（决定导电性）。总的工作压强由氩气控制，一般为0.1-10Pa量级（决定了薄膜形貌）。此外，空气退火500度是弥补氧空位缺陷的工艺，哪怕你的ITO本身是导电的，退过火导电性也可能下降。个人认为你的实验主要原因是氧分压过高。确定有没有镀上膜，最方便的方法是在衬底上贴一小块胶布，或者用掩模板，然后直接可以肉眼观察是否有膜，或者用膜厚仪测具体厚度。目前只想到这么多，希望对您有帮助。以上。
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Thescientistisnotapersonwhogivestherightanswers,he'sonewhoaskstherightquestions.--ClaudeLévi-Strauss
5楼2014-11-11 16:43:15
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crysmat

铁杆木虫 (知名作家)
引用回帖:
5楼: Originally posted by bytianping at 2014-11-11 16:43:15
你用的设备与常用溅射仪器最大的区别在于背底真空与工作气体。由于是简易镀金的，对背底真空要求很低，机械泵真空即可，因此氧压往往是1-10Pa量级（镀出来的金属是不同程度氧化的，但导电性已经满足SEM测试要求）。 ...

谢谢。很受启发。我本人不搞镀膜，所以这方面不太了解。楼上的经验很重要，我这边再试试，不行只能去校区做了。希望能用这个设备镀上吧，不求形貌只求导电啦。。。
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6楼2014-11-11 20:53:16
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