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crysmat铁杆木虫 (知名作家)
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求教：如何利用二级溅射ITO或其他透明导电电极？ 已有1人参与
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本人手边有一台直流等离子溅射仪（SEM镀金用的，无加热装置），想用它在样品上镀一层透明导电电极。但借来的ITO靶，怎么也镀不上，退火500度也没用。请问各位大侠，有什么办法么？或者应该用什么靶材更合适？ 多谢！！！！  |
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2楼2014-11-10 21:20:01
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4楼2014-11-11 09:09:34
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【答案】应助回帖
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你用的设备与常用溅射仪器最大的区别在于背底真空与工作气体。由于是简易镀金的，对背底真空要求很低，机械泵真空即可，因此氧压往往是1-10Pa量级（镀出来的金属是不同程度氧化的，但导电性已经满足SEM测试要求）。再加上你用了空气作为工作气体，如此属于高氧压氛围，对ITO的导电不利（ITO的n型导电是由氧空位导致）。如果你仔细研究过文献，一定知道很多文献采用的是较低的氧分压，比如0.01-0.1Pa这个量级（决定导电性）。总的工作压强由氩气控制，一般为0.1-10Pa量级（决定了薄膜形貌）。此外，空气退火500度是弥补氧空位缺陷的工艺，哪怕你的ITO本身是导电的，退过火导电性也可能下降。个人认为你的实验主要原因是氧分压过高。确定有没有镀上膜，最方便的方法是在衬底上贴一小块胶布，或者用掩模板，然后直接可以肉眼观察是否有膜，或者用膜厚仪测具体厚度。目前只想到这么多，希望对您有帮助。以上。 |
5楼2014-11-11 16:43:15
crysmat
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