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crysmat

铁杆木虫 (知名作家)

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[求助] 求教：如何利用二级溅射ITO或其他透明导电电极？已有1人参与

本人手边有一台直流等离子溅射仪（SEM镀金用的，无加热装置），想用它在样品上镀一层透明导电电极。但借来的ITO靶，怎么也镀不上，退火500度也没用。请问各位大侠，有什么办法么？或者应该用什么靶材更合适？
多谢！！！！

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1楼2014-11-10 10:20:18

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crysmat

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引用回帖:

5楼: Originally posted by bytianping at 2014-11-11 16:43:15
你用的设备与常用溅射仪器最大的区别在于背底真空与工作气体。由于是简易镀金的，对背底真空要求很低，机械泵真空即可，因此氧压往往是1-10Pa量级（镀出来的金属是不同程度氧化的，但导电性已经满足SEM测试要求）。 ...

谢谢。很受启发。我本人不搞镀膜，所以这方面不太了解。楼上的经验很重要，我这边再试试，不行只能去校区做了。希望能用这个设备镀上吧，不求形貌只求导电啦。。。