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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术交流 » 请教：国内PECVD哪家强！！！（认真回复，每答5金币，可给我您所用设备的厂家、型号）
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ysuren

铁杆木虫 (正式写手)

[交流] 请教：国内PECVD哪家强！！！（认真回复，每答5金币，可给我您所用设备的厂家、型号）

最近调研要买一台PECVD设备（真空腔式，不是管式的），功能：类金刚石薄膜，硅膜，石墨烯，CNT等，气路大概5-6路。目前主要知道沈阳科学仪器厂有这样的设备，想找找是否其他厂家也有并且价格更合理。
请高手们介绍一下您所用的pecvd的情况，做什么膜，厂家、型号等等。
另外，这几类膜同时做，是否会有杂质的互相影响。

金币不吝，好回复多给金币。
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1楼 2015-03-10 11:25:31
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

散装V可乐

金虫 (正式写手)
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★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
ysuren: 金币+5, 再提供一下型号，使用情况吧！！ 2015-03-10 16:01:11
北京泰科诺科技有限公司
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2楼2015-03-10 13:47:25
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pptang

荣誉版主 (著名写手)
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
ysuren: 金币+10, Thanks a lot 2015-03-13 08:27:15
硅基薄膜和碳基薄膜如果要共用一个腔室生长，那么你需要增加dry clean gas去保证chamber condition一致，不然你的重复性会有很大问题。
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4楼2015-03-12 10:06:19
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普通回帖

ysuren

铁杆木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 散装V可乐 at 2015-03-10 13:47:25
北京泰科诺科技有限公司

能告诉一下型号吗？您或者您研究组用过该公司设备吗？
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3楼2015-03-10 16:00:43
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麦基啊麦基

铜虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
沈阳拓荆科技有限公司
www.sypiotech.cn

[ 发自小木虫客户端 ]
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5楼2015-03-31 22:58:05
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cord

铁杆木虫 (著名写手)
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
ysuren: 金币+10 2015-04-01 08:07:04
不建议购买国内的真空设备，我用过沈科仪，北科仪的等设备，太耽误事了，结果刚有一点，设备就出问题，还不能重复。比国外的二手设备都不如。他们可以做得如国外的形式，但是技术细节不行。
如果楼主预算可以，还是采购果外的设备，二手的话价格会很低，质量还很好。
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6楼2015-04-01 02:22:07
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ysuren

铁杆木虫 (正式写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by cord at 2015-04-01 02:22:07
不建议购买国内的真空设备，我用过沈科仪，北科仪的等设备，太耽误事了，结果刚有一点，设备就出问题，还不能重复。比国外的二手设备都不如。他们可以做得如国外的形式，但是技术细节不行。
如果楼主预算可以，还是 ...

二手在什么公司可以买到呀？？没接触过卖二手设备的。
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7楼2015-04-01 08:07:01
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cord

铁杆木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
给hydenwatt@gmail.com发邮件问吧，说清楚你的具体要求和联系方式，会跟你联系讨论你的设备配置，是真空设备方面的专家，按照你的需求会给你建议。
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8楼2015-04-01 12:45:09
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yuanxin5254

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
沈阳拓荆的机器不错，售后也很不错，建议楼主去考虑下。
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9楼2015-04-01 15:51:13
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cord

铁杆木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我们在用的多强室团簇型PECVD/PVD集成沉积系统，还可以添加ALD沉积腔室。性能稳定，有沉积技术保证，全电脑控制系统。
请教：国内PECVD哪家强！！！（认真回复，每答5金币，可给我您所用设备的厂家、型号）
product-4.jpg
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10楼2015-04-01 22:27:06
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瑞端

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
您好，不知道您考虑国外设备吗？我们是德国FHR的中国代理，做PECVD，PVD,ALD等设备的，有兴趣您可以参考我们的官网。
http://www.longsun.asia/
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11楼2015-04-14 14:40:43
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陌陌花筱影

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
10楼: Originally posted by cord at 2015-04-01 22:27:06
我们在用的多强室团簇型PECVD/PVD集成沉积系统，还可以添加ALD沉积腔室。性能稳定，有沉积技术保证，全电脑控制系统。

product-4.jpg
...

你好 请问你是哪个学校呀。你们实验室是否接受外面样片去做PECVD沉积二氧化硅，基片是100*100mm镀膜玻璃
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12楼2015-07-10 16:36:25
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希部zx

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我们使用的就是沈科仪的，不过老师说沈科仪他们懂机械和电路的比较多，光学和材料的少，因此设备使用起来并没有那么顺溜。咨询一下楼主，有没有调研到其他还不错的厂家？
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13楼2016-05-31 11:07:31
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