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[交流]
请教：国内PECVD哪家强！！！（认真回复，每答5金币，可给我您所用设备的厂家、型号）
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最近调研要买一台PECVD设备（真空腔式，不是管式的），功能：类金刚石薄膜，硅膜，石墨烯，CNT等，气路大概5-6路。目前主要知道沈阳科学仪器厂有这样的设备，想找找是否其他厂家也有并且价格更合理。 请高手们介绍一下您所用的pecvd的情况，做什么膜，厂家、型号等等。 另外，这几类膜同时做，是否会有杂质的互相影响。 金币不吝，好回复多给金币。 |
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