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[交流]
请教:国内PECVD哪家强!!!(认真回复,每答5金币,可给我您所用设备的厂家、型号)
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最近调研要买一台PECVD设备(真空腔式,不是管式的),功能:类金刚石薄膜,硅膜,石墨烯,CNT等,气路大概5-6路。目前主要知道沈阳科学仪器厂有这样的设备,想找找是否其他厂家也有并且价格更合理。 请高手们介绍一下您所用的pecvd的情况,做什么膜,厂家、型号等等。 另外,这几类膜同时做,是否会有杂质的互相影响。 金币不吝,好回复多给金币。 |
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
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8楼2015-04-01 12:45:09
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