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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术交流 » 请教：国内PECVD哪家强！！！（认真回复，每答5金币，可给我您所用设备的厂家、型号）
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ysuren

铁杆木虫 (正式写手)

[交流] 请教：国内PECVD哪家强！！！（认真回复，每答5金币，可给我您所用设备的厂家、型号）

最近调研要买一台PECVD设备（真空腔式，不是管式的），功能：类金刚石薄膜，硅膜，石墨烯，CNT等，气路大概5-6路。目前主要知道沈阳科学仪器厂有这样的设备，想找找是否其他厂家也有并且价格更合理。
请高手们介绍一下您所用的pecvd的情况，做什么膜，厂家、型号等等。
另外，这几类膜同时做，是否会有杂质的互相影响。

金币不吝，好回复多给金币。
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1楼 2015-03-10 11:25:31
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cord

铁杆木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我们在用的多强室团簇型PECVD/PVD集成沉积系统，还可以添加ALD沉积腔室。性能稳定，有沉积技术保证，全电脑控制系统。
请教：国内PECVD哪家强！！！（认真回复，每答5金币，可给我您所用设备的厂家、型号）
product-4.jpg
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10楼2015-04-01 22:27:06
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散装V可乐

金虫 (正式写手)
商家已经主动声明此回帖可能含有宣传内容
★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
ysuren: 金币+5, 再提供一下型号，使用情况吧！！ 2015-03-10 16:01:11
北京泰科诺科技有限公司
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2楼2015-03-10 13:47:25
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ysuren

铁杆木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 散装V可乐 at 2015-03-10 13:47:25
北京泰科诺科技有限公司

能告诉一下型号吗？您或者您研究组用过该公司设备吗？
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3楼2015-03-10 16:00:43
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pptang

荣誉版主 (著名写手)
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
ysuren: 金币+10, Thanks a lot 2015-03-13 08:27:15
硅基薄膜和碳基薄膜如果要共用一个腔室生长，那么你需要增加dry clean gas去保证chamber condition一致，不然你的重复性会有很大问题。
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4楼2015-03-12 10:06:19
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