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ysuren

铁杆木虫 (正式写手)

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[交流] 请教：国内PECVD哪家强！！！（认真回复，每答5金币，可给我您所用设备的厂家、型号）

最近调研要买一台PECVD设备（真空腔式，不是管式的），功能：类金刚石薄膜，硅膜，石墨烯，CNT等，气路大概5-6路。目前主要知道沈阳科学仪器厂有这样的设备，想找找是否其他厂家也有并且价格更合理。
请高手们介绍一下您所用的pecvd的情况，做什么膜，厂家、型号等等。
另外，这几类膜同时做，是否会有杂质的互相影响。

金币不吝，好回复多给金币。

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1楼 2015-03-10 11:25:31

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ysuren

铁杆木虫 (正式写手)

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引用回帖:

6楼: Originally posted by cord at 2015-04-01 02:22:07
不建议购买国内的真空设备，我用过沈科仪，北科仪的等设备，太耽误事了，结果刚有一点，设备就出问题，还不能重复。比国外的二手设备都不如。他们可以做得如国外的形式，但是技术细节不行。
如果楼主预算可以，还是 ...

二手在什么公司可以买到呀？？没接触过卖二手设备的。