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ysuren

铁杆木虫 (正式写手)


[交流] 请教:国内PECVD哪家强!!!(认真回复,每答5金币,可给我您所用设备的厂家、型号)

最近调研要买一台PECVD设备(真空腔式,不是管式的),功能:类金刚石薄膜,硅膜,石墨烯,CNT等,气路大概5-6路。目前主要知道沈阳科学仪器厂有这样的设备,想找找是否其他厂家也有并且价格更合理。
请高手们介绍一下您所用的pecvd的情况,做什么膜,厂家、型号等等。
另外,这几类膜同时做,是否会有杂质的互相影响。

金币不吝,好回复多给金币。
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yuanxin5254

金虫 (正式写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
沈阳拓荆的机器不错,售后也很不错,建议楼主去考虑下。
9楼2015-04-01 15:51:13
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散装V可乐

金虫 (正式写手)


商家已经主动声明此回帖可能含有宣传内容
★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
ysuren: 金币+5, 再提供一下型号,使用情况吧!! 2015-03-10 16:01:11
北京泰科诺科技有限公司
2楼2015-03-10 13:47:25
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ysuren

铁杆木虫 (正式写手)


引用回帖:
2楼: Originally posted by 散装V可乐 at 2015-03-10 13:47:25
北京泰科诺科技有限公司

能告诉一下型号吗?您或者您研究组用过该公司设备吗?
3楼2015-03-10 16:00:43
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★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
ysuren: 金币+10, Thanks a lot 2015-03-13 08:27:15
硅基薄膜和碳基薄膜如果要共用一个腔室生长,那么你需要增加dry clean gas去保证chamber condition一致,不然你的重复性会有很大问题。
4楼2015-03-12 10:06:19
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