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yx544710465

铜虫 (正式写手)

[求助] 分辨率高的能谱分析 已有1人参与

宽度5nm左右的硅材料,想用线扫得到成分或者含量的信息,现已用场发射透射电镜的EDS尝试过,分辨率不够,求推荐一种测量方法,希望各位大神指点迷津。
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
分辨率还不够。。话说没多少能用的了已经,probe Cs correct-TEM吧
2楼2015-03-06 15:27:50
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