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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 分辨率高的能谱分析
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yx544710465

铜虫 (正式写手)

[求助] 分辨率高的能谱分析 已有1人参与

宽度5nm左右的硅材料，想用线扫得到成分或者含量的信息，现已用场发射透射电镜的EDS尝试过，分辨率不够，求推荐一种测量方法，希望各位大神指点迷津。
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怎么才能获得1000金币啊
1楼 2015-03-06 10:48:32
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
分辨率还不够。。话说没多少能用的了已经，probe Cs correct-TEM吧
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2楼2015-03-06 15:27:50
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