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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » EDS时用的二次电子会有什么影响
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nanax0

金虫 (初入文坛)

[求助] EDS时用的二次电子会有什么影响

因为第一次做扫描电镜，在做EDS的时候，使用的是二次电子。一般情况下应该使用的是背散射电子。请问在做EDS的时候使用背散射电子和二次电子都结果有什么影响？
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1楼 2013-04-26 21:58:25
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

ssenippah

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
做EDS时采集的信号是特征X射线，而不是二次电子或者背散射电子，所以不用担心，结果没问题。可能你是通过观察二次电子像来决定采集哪里的能谱的，这样也可以，因为二次电子分辨率高一些，图像比背散射电子像清楚。通过背散射电子像观察确定能谱采集位置的好处在于能更明显地看到样品中平均原子序数的差别，更有的放矢一些吧。
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自强不息，厚德载物
2楼2013-04-26 22:32:28
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ncsuuvm

至尊木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
引用回帖:
2楼: Originally posted by ssenippah at 2013-04-26 22:32:28
做EDS时采集的信号是特征X射线，而不是二次电子或者背散射电子，所以不用担心，结果没问题。可能你是通过观察二次电子像来决定采集哪里的能谱的，这样也可以，因为二次电子分辨率高一些，图像比背散射电子像清楚。通 ...

不错。。介绍的很好。。二次电子对形貌敏感；被散射电子对原子序数敏感，x-射线可以给出元素含量信息。
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semi
3楼2013-04-27 00:15:30
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nanax0

金虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by ssenippah at 2013-04-26 22:32:28
做EDS时采集的信号是特征X射线，而不是二次电子或者背散射电子，所以不用担心，结果没问题。可能你是通过观察二次电子像来决定采集哪里的能谱的，这样也可以，因为二次电子分辨率高一些，图像比背散射电子像清楚。通 ...

也就是说eds时，使用二次电子或者背散射电子对成分的结果是相似的是吧？并没有本质的区别，结果也可以用是吧？
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4楼2013-04-27 12:16:14
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nanax0

金虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by ncsuuvm at 2013-04-27 00:15:30
不错。。介绍的很好。。二次电子对形貌敏感；被散射电子对原子序数敏感，x-射线可以给出元素含量信息。...

那如果我用的二次电子对eds结果影响会很显著吗？
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5楼2013-04-27 12:17:34
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wl20098836

至尊木虫 (文坛精英)
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wbcui: MEPI-1, 此楼要求删掉应助 2013-04-27 16:05:41
楼主估计还是没有搞清楚吧，SEM设备中发射的电子打在所分析的样品表面，从样品出来的信号有二次电子、背散射、荧光、俄歇电子等。而EDS或者说EDX是SEM设备的附件，发射的X射线，用来对样品的表面进行微区分析，如我们常用的十字叉打点，也有矩形或椭圆形，线扫及面扫。
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6楼2013-04-27 12:46:00
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ncsuuvm

至尊木虫 (职业作家)
引用回帖:
6楼: Originally posted by wl20098836 at 2013-04-27 12:46:00
楼主估计还是没有搞清楚吧，SEM设备中发射的电子打在所分析的样品表面，从样品出来的信号有二次电子、背散射、荧光、俄歇电子等。而EDS或者说EDX是SEM设备的附件，发射的X射线，用来对样品的表面进行微区分析，如我 ...

不是估计没搞清楚。。。是肯定不清楚。。从他问的问题可以看出他对SEM一点概念都没有。。
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semi
7楼2013-04-27 16:23:25
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hitbyg

铜虫 (正式写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by wl20098836 at 2013-04-27 12:46:00
楼主估计还是没有搞清楚吧，SEM设备中发射的电子打在所分析的样品表面，从样品出来的信号有二次电子、背散射、荧光、俄歇电子等。而EDS或者说EDX是SEM设备的附件，发射的X射线，用来对样品的表面进行微区分析，如我 ...

不是EDS附件发射的X射线，而是附件收集电子打在分析样品表面出来的信号中的X射线！
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好好干活
8楼2013-04-27 16:38:46
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nanax0

金虫 (初入文坛)
引用回帖:
7楼: Originally posted by ncsuuvm at 2013-04-27 16:23:25
不是估计没搞清楚。。。是肯定不清楚。。从他问的问题可以看出他对SEM一点概念都没有。。...

还真不清楚……
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9楼2013-04-27 18:02:54
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wl20098836

至尊木虫 (文坛精英)
呵呵，对的，是样品被激发后产生的特征x射线，谢谢

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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10楼2013-04-27 19:43:32
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