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huoxiaodi

金虫 (小有名气)

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[交流] 【求助】X射线光电子能谱分析（XPS）和X射线能量色散分析谱仪(EDS)有什么区别和联系

如题

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1楼 2011-03-16 11:37:44

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jiangcj09

铁杆木虫 (正式写手)

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huoxiaodi(金币+2): 2011-04-07 10:19:52

二者的原理不同，XPS是分析X射线照射样品激发的光电子的能量；EDS是分析电子束照射到样品后激发的特征X射线。
从使用的角度：
XPS是表面分析手段，分析深度在几个纳米，广度很宽，在几十到几百微米（X射线聚焦困难）。

EDS是表面微区分析手段，其分析范围的深度和广度与加速电压和被分析材料种类有关。对于扫描电镜（SEM）配备的EDS，其分析的深度和广度范围至少在亚微米级别（空间分辨率除了与电子束斑大小有关，还与特征X射线的激发范围有关）。
透射电镜（TEM）配备的EDS，其分析范围很小，分析区域的大小可接近电子束斑的大小，分析几十个nm大小的区域。若用场发射枪（FEG），电子束斑只有1 nm左右，在FEG-TEM上用EDS，最小可分析几nm范围。

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yanan901

2楼2011-04-06 20:23:07

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guolianshun

铜虫 (著名写手)

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引用回帖:

Originally posted by jiangcj09 at 2011-04-06 20:23:07:
二者的原理不同，XPS是分析X射线照射样品激发的光电子的能量；EDS是分析电子束照射到样品后激发的特征X射线。
从使用的角度：
XPS是表面分析手段，分析深度在几个纳米，广度很宽，在几十到几百微米（X射线聚焦困 ...

很详细，很不错。学习了

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3楼2011-05-04 17:22:03

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chenyi924

金虫 (小有名气)

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多谢jiangcj09的分析...

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4楼2011-05-16 09:50:08

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yanan901

金虫 (正式写手)

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引用回帖:

1241366楼: Originally posted by jiangcj09 at 2011-04-06 20:23:07
二者的原理不同，XPS是分析X射线照射样品激发的光电子的能量；EDS是分析电子束照射到样品后激发的特征X射线。
从使用的角度：
XPS是表面分析手段，分析深度在几个纳米，广度很宽，在几十到几百微米（X射线聚焦困难 ...

你好我想了解一下关于光电子能谱分析仪的操作，您清楚吗？(*^__^*) 嘻嘻…如果知道的话能不能说一下吼吼

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5楼2012-07-27 10:29:22

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