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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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huoxiaodi

金虫 (小有名气)


[交流] 【求助】X射线光电子能谱分析(XPS)和X射线能量色散分析谱仪(EDS)有什么区别和联系

如题
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jiangcj09

铁杆木虫 (正式写手)


huoxiaodi(金币+2): 2011-04-07 10:19:52
二者的原理不同,XPS是分析X射线照射样品激发的光电子的能量;EDS是分析电子束照射到样品后激发的特征X射线。
从使用的角度:
XPS是表面分析手段,分析深度在几个纳米,广度很宽,在几十到几百微米(X射线聚焦困难)。

EDS是表面微区分析手段,其分析范围的深度和广度与加速电压和被分析材料种类有关。对于扫描电镜(SEM)配备的EDS,其分析的深度和广度范围至少在亚微米级别(空间分辨率除了与电子束斑大小有关,还与特征X射线的激发范围有关)。
透射电镜(TEM)配备的EDS,其分析范围很小,分析区域的大小可接近电子束斑的大小,分析几十个nm大小的区域。若用场发射枪(FEG),电子束斑只有1 nm左右,在FEG-TEM上用EDS,最小可分析几nm范围。

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2楼2011-04-06 20:23:07
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guolianshun

铜虫 (著名写手)



小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
Originally posted by jiangcj09 at 2011-04-06 20:23:07:
二者的原理不同,XPS是分析X射线照射样品激发的光电子的能量;EDS是分析电子束照射到样品后激发的特征X射线。
从使用的角度:
XPS是表面分析手段,分析深度在几个纳米,广度很宽,在几十到几百微米(X射线聚焦困 ...

很详细,很不错。学习了
3楼2011-05-04 17:22:03
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chenyi924

金虫 (小有名气)



小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
多谢jiangcj09的分析...
4楼2011-05-16 09:50:08
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yanan901

金虫 (正式写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
送鲜花一朵
引用回帖:
1241366楼: Originally posted by jiangcj09 at 2011-04-06 20:23:07
二者的原理不同,XPS是分析X射线照射样品激发的光电子的能量;EDS是分析电子束照射到样品后激发的特征X射线。
从使用的角度:
XPS是表面分析手段,分析深度在几个纳米,广度很宽,在几十到几百微米(X射线聚焦困难 ...

你好  我想了解一下关于光电子能谱分析仪的操作,您清楚吗?(*^__^*) 嘻嘻…如果知道的话 能不能说一下 吼吼
5楼2012-07-27 10:29:22
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jiangcj09

铁杆木虫 (正式写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
1361767楼: Originally posted by yanan901 at 2012-07-27 10:29:22
你好  我想了解一下关于光电子能谱分析仪的操作,您清楚吗?(*^__^*) 嘻嘻…如果知道的话 能不能说一下 吼吼...

不好意思,我从来没有操作过。我们都是送样去,那里的老师操作的。。
6楼2012-07-28 02:58:28
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zlj6818

金虫 (初入文坛)


谢谢!
7楼2012-09-18 08:25:10
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sutengfeijd

新虫 (小有名气)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
学习了,最近要做这个。呵呵
8楼2013-05-10 12:02:41
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