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【求助】X射线光电子能谱分析（XPS）和X射线能量色散分析谱仪(EDS)有什么区别和联系
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 材料制备工艺与表征 | EDS 问题 |
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huoxiaodi(金币+2): 2011-04-07 10:19:52
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二者的原理不同，XPS是分析X射线照射样品激发的光电子的能量；EDS是分析电子束照射到样品后激发的特征X射线。 从使用的角度： XPS是表面分析手段，分析深度在几个纳米，广度很宽，在几十到几百微米（X射线聚焦困难）。 EDS是表面微区分析手段，其分析范围的深度和广度与加速电压和被分析材料种类有关。对于扫描电镜（SEM）配备的EDS，其分析的深度和广度范围至少在亚微米级别（空间分辨率除了与电子束斑大小有关，还与特征X射线的激发范围有关）。 透射电镜（TEM）配备的EDS，其分析范围很小，分析区域的大小可接近电子束斑的大小，分析几十个nm大小的区域。若用场发射枪（FEG），电子束斑只有1 nm左右，在FEG-TEM上用EDS，最小可分析几nm范围。 |
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yanan9012楼2011-04-06 20:23:07
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