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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » EDS时用的二次电子会有什么影响
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nanax0

金虫 (初入文坛)

[求助] EDS时用的二次电子会有什么影响

因为第一次做扫描电镜，在做EDS的时候，使用的是二次电子。一般情况下应该使用的是背散射电子。请问在做EDS的时候使用背散射电子和二次电子都结果有什么影响？
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1楼 2013-04-26 21:58:25
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ncsuuvm

至尊木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
引用回帖:
2楼: Originally posted by ssenippah at 2013-04-26 22:32:28
做EDS时采集的信号是特征X射线，而不是二次电子或者背散射电子，所以不用担心，结果没问题。可能你是通过观察二次电子像来决定采集哪里的能谱的，这样也可以，因为二次电子分辨率高一些，图像比背散射电子像清楚。通 ...

不错。。介绍的很好。。二次电子对形貌敏感；被散射电子对原子序数敏感，x-射线可以给出元素含量信息。
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semi
3楼2013-04-27 00:15:30
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ssenippah

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
做EDS时采集的信号是特征X射线，而不是二次电子或者背散射电子，所以不用担心，结果没问题。可能你是通过观察二次电子像来决定采集哪里的能谱的，这样也可以，因为二次电子分辨率高一些，图像比背散射电子像清楚。通过背散射电子像观察确定能谱采集位置的好处在于能更明显地看到样品中平均原子序数的差别，更有的放矢一些吧。
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自强不息，厚德载物
2楼2013-04-26 22:32:28
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nanax0

金虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by ssenippah at 2013-04-26 22:32:28
做EDS时采集的信号是特征X射线，而不是二次电子或者背散射电子，所以不用担心，结果没问题。可能你是通过观察二次电子像来决定采集哪里的能谱的，这样也可以，因为二次电子分辨率高一些，图像比背散射电子像清楚。通 ...

也就是说eds时，使用二次电子或者背散射电子对成分的结果是相似的是吧？并没有本质的区别，结果也可以用是吧？
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4楼2013-04-27 12:16:14
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nanax0

金虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by ncsuuvm at 2013-04-27 00:15:30
不错。。介绍的很好。。二次电子对形貌敏感；被散射电子对原子序数敏感，x-射线可以给出元素含量信息。...

那如果我用的二次电子对eds结果影响会很显著吗？
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5楼2013-04-27 12:17:34
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