[交流] 【讨论】做扫描电镜时EDS元素峰重叠，大家有何高招？已有8人参与

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突然来了一个机会，空空的没有目的；就像姑娘当初生了我们，我们没有说愿意

1楼2010-08-13 10:03:52

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r9arrow

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Originally posted by baiyijia at 2010-08-16 14:21:59:
如果仅是看是否含有钽或是硅则可以用别的元素分析方法，比如ICP-OES。但是若想知道XPS谱峰相近元素的化合价则不太容易判定了

已经做过XPS了，的确为Si，但做这个成本高呀！

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突然来了一个机会，空空的没有目的；就像姑娘当初生了我们，我们没有说愿意

7楼2010-08-16 15:28:26

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baiyijia

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同问！之前在沈阳开会时问到UCLA Irvine分校的郑建国教授同样的问题。他的解答是可以用分峰拟合，针对轻元素可以采用EELS（电子能量损失谱）分辨效果较好

2楼2010-08-13 16:28:51

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Originally posted by baiyijia at 2010-08-13 16:28:51:
同问！之前在沈阳开会时问到UCLA Irvine分校的郑建国教授同样的问题。他的解答是可以用分峰拟合，针对轻元素可以采用EELS（电子能量损失谱）分辨效果较好

呵呵，EELS是好东西，就是不好找地方做，也太贵了

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突然来了一个机会，空空的没有目的；就像姑娘当初生了我们，我们没有说愿意

3楼2010-08-14 20:43:57

dzc80

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没有做过相关的工作，但是Ramman光谱以及部分吸收光谱中经常用到分峰拟合的分析方法
感觉这里应该也可以吧

4楼2010-08-15 10:31:03

nkseasee

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lz可以看看其他的峰，是否含有硅。如果不行，就做XPS和XRF，这是最直接的。

5楼2010-08-15 17:48:36

baiyijia

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如果仅是看是否含有钽或是硅则可以用别的元素分析方法，比如ICP-OES。但是若想知道XPS谱峰相近元素的化合价则不太容易判定了

6楼2010-08-16 14:21:59

litao586

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用高斯分峰的拟合方法

新工作要加油，好好地干出点优秀的成绩！

8楼2010-08-16 21:58:12

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418783132:能量太低了，很难分辨，意义也不是很大， 2010-08-17 10:29:56

引用回帖:

Originally posted by litao586 at 2010-08-16 21:58:12:
用高斯分峰的拟合方法

大家看看放大就是这个图片了，

虽然可以用高斯函数拟合分离，但EDS本来的能量分辨率也就100多eV，而Si Ka1 为1.740KeV，Ta Ma1为1.710KeV，只差30eV，人为地把Si从Ta峰揪出来，到底有没有意义？(当然XPS已经确认含Si了)

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9楼2010-08-16 23:38:39

lihangshi

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10楼2010-09-30 22:16:05