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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » 【讨论】做扫描电镜时EDS元素峰重叠，大家有何高招？
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r9arrow

金虫 (小有名气)

[交流] 【讨论】做扫描电镜时EDS元素峰重叠，大家有何高招？ 已有8人参与

一般做能谱时，取回的数据是已经分析好的图谱、元素浓度比例结果，可是因为能谱仪能量分辨率低，经常遇到峰位重叠的情形，比如Si Ka1 (1.740KeV)与Ta M(1.710KeV)，在谱线上根本分不出来

有没有直接拷贝谱线文件，自己作图，再拟合、分峰分析的？
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突然来了一个机会，空空的没有目的；就像姑娘当初生了我们，我们没有说愿意
1楼 2010-08-13 10:03:52
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r9arrow

金虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by baiyijia at 2010-08-16 14:21:59:
如果仅是看是否含有钽或是硅则可以用别的元素分析方法，比如ICP-OES。但是若想知道XPS谱峰相近元素的化合价则不太容易判定了

已经做过XPS了，的确为Si，但做这个成本高呀！
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突然来了一个机会，空空的没有目的；就像姑娘当初生了我们，我们没有说愿意
7楼2010-08-16 15:28:26
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baiyijia

金虫 (正式写手)
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csuhcb2000(金币+1):欢迎交流 2010-08-13 17:35:35
同问！之前在沈阳开会时问到UCLA Irvine分校的郑建国教授同样的问题。他的解答是可以用分峰拟合，针对轻元素可以采用EELS（电子能量损失谱）分辨效果较好
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2楼2010-08-13 16:28:51
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r9arrow

金虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by baiyijia at 2010-08-13 16:28:51:
同问！之前在沈阳开会时问到UCLA Irvine分校的郑建国教授同样的问题。他的解答是可以用分峰拟合，针对轻元素可以采用EELS（电子能量损失谱）分辨效果较好

呵呵，EELS是好东西，就是不好找地方做，也太贵了
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突然来了一个机会，空空的没有目的；就像姑娘当初生了我们，我们没有说愿意
3楼2010-08-14 20:43:57
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dzc80

金虫 (小有名气)
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guxue(金币+1):鼓励交流 2010-08-15 12:50:56
没有做过相关的工作，但是Ramman光谱以及部分吸收光谱中经常用到分峰拟合的分析方法
感觉这里应该也可以吧
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4楼2010-08-15 10:31:03
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nkseasee

银虫 (小有名气)
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418783132(金币+1):鼓励参与 2010-08-15 20:05:48
guxue(金币+1):鼓励交流 2010-08-15 21:31:39
lz可以看看其他的峰，是否含有硅。如果不行，就做XPS和XRF，这是最直接的。
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5楼2010-08-15 17:48:36
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baiyijia

金虫 (正式写手)
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418783132(金币+1):鼓励交流 2010-08-16 17:09:09
如果仅是看是否含有钽或是硅则可以用别的元素分析方法，比如ICP-OES。但是若想知道XPS谱峰相近元素的化合价则不太容易判定了
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6楼2010-08-16 14:21:59
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litao586

木虫 (正式写手)

doctor
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418783132(金币+1):鼓励交流 2010-08-16 23:03:28
用高斯分峰的拟合方法
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新工作要加油，好好地干出点优秀的成绩！
8楼2010-08-16 21:58:12
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r9arrow

金虫 (小有名气)
★
guxue(金币+1):鼓励交流 2010-08-17 07:32:12
418783132:能量太低了，很难分辨，意义也不是很大， 2010-08-17 10:29:56
引用回帖:
Originally posted by litao586 at 2010-08-16 21:58:12:
用高斯分峰的拟合方法


大家看看放大就是这个图片了，

虽然可以用高斯函数拟合分离，但EDS本来的能量分辨率也就100多eV，而Si Ka1 为1.740KeV，Ta Ma1为1.710KeV，只差30eV，人为地把Si从Ta峰揪出来，到底有没有意义？(当然XPS已经确认含Si了)
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突然来了一个机会，空空的没有目的；就像姑娘当初生了我们，我们没有说愿意
9楼2010-08-16 23:38:39
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lihangshi

至尊木虫 (职业作家)
★
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XPS是什么
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10楼2010-09-30 22:16:05
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