应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » SU 8 光刻 问题，希望各位大神指点一下
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
111/2返回列表12下一页
查看: 2158  |  回复: 10
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

mwjsx

新虫 (初入文坛)

[求助] SU 8 光刻 问题，希望各位大神指点一下 已有4人参与

先介绍一下基本情况 本人用的SU-8 2100, 旋涂80 微米，前烘: 65度 5分钟，95度15分钟; 后烘: 65度1分钟，95度7分钟; 显影: PGMEA中超声显影40分钟。想做的结构是一个三维的锯齿状的结构，处理后得到的横截面图，可以 看到图中的结构有些弯曲，查了一些文献，原因可能是su-8 吸收了一部分显影液变软了，请问各位大神还有什么其他的原因呢? 我的流程中有什么可以改进的? 谢谢！！！！

SU 8 光刻 问题，希望各位大神指点一下
锯齿状横截面
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2015-02-04 19:00:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

exciting73

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
锯齿是对称的吗？这个深宽比还挺大。
赞一下(1人) 回复此楼
2楼2015-02-05 07:49:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)
感谢参与，应助指数 +1
dgf2008: 屏蔽内容, 过期内容！ 2017-07-25 23:33:05
本帖内容被屏蔽
3楼2015-02-05 13:11:00
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

mwjsx

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by exciting73 at 2015-02-05 07:49:20
锯齿是对称的吗？这个深宽比还挺大。

不是对称的，一边是垂直的一边是斜坡。深宽比是4:1左右吧。
赞一下 回复此楼
4楼2015-02-05 18:58:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

mwjsx

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2015-02-05 13:11:00
不一定是泡显影液的问题。
也有很大可能是应力问题。你在各个工艺步骤之间没有静置足够的时间保证应力的充分释放。具体的建议咨询苏州锐材半导体，不过他们卖的是另一家的SU8，你咨询的话试试吧。

哦，谢谢，我也想到这个问题，但是我已经尝试较长时间的静置了，涂胶，前烘，曝光 分别间隔了2小时和一个晚上，不知道是否够呢?
赞一下 回复此楼
5楼2015-02-05 19:03:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yuanxin5254

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
你涂的胶厚85um?这么厚做什么啊，我们一般就1um
赞一下 回复此楼
我们坚持做一件事情，并不是这样做了有效果，而是坚信，这样做了是对的。
6楼2015-02-05 23:47:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

nancy10214

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
交联的SU-8胶结构内应力很大,可以导致基底弯曲变形和胶的开裂. 所以加热必须缓慢,冷却应在热板上随热板冷却到室温。另外你的结构不对称应力体现更明显。yswyx是高手，他们做的很多，问问试试。
赞一下 回复此楼
7楼2015-02-06 09:01:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

exciting73

金虫 (著名写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by mwjsx at 2015-02-05 18:58:58
不是对称的，一边是垂直的一边是斜坡。深宽比是4:1左右吧。...

哦，这种用灰度曝光胶更好一些吧。
前后烘时不要先把热板加热到预设温度，可以把基片放到热板上之后从较低的温度开始加热，要缓慢升温。
赞一下 回复此楼
8楼2015-02-10 10:46:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

mwjsx

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
7楼: Originally posted by nancy10214 at 2015-02-06 09:01:02
交联的SU-8胶结构内应力很大,可以导致基底弯曲变形和胶的开裂. 所以加热必须缓慢,冷却应在热板上随热板冷却到室温。另外你的结构不对称应力体现更明显。yswyx是高手，他们做的很多，问问试试。

我的样品都是缓慢加热和冷却的，谢谢你的意见！！！
赞一下 回复此楼
9楼2015-02-16 17:16:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

mwjsx

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
8楼: Originally posted by exciting73 at 2015-02-10 10:46:18
哦，这种用灰度曝光胶更好一些吧。
前后烘时不要先把热板加热到预设温度，可以把基片放到热板上之后从较低的温度开始加热，要缓慢升温。...

谢谢，我都是缓慢升温和冷却的
赞一下 回复此楼
10楼2015-02-16 17:18:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 mwjsx 的主题更新
111/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 材料与化工考研调剂 +17 孅華 2026-03-22 17/850 2026-03-28 08:35 by WYUMater
[考研] 0703化学/290求调剂/本科经历丰富/工科也可 +9 丹青奶盖 2026-03-26 10/500 2026-03-28 07:45 by barnett0632
[考研] 求调剂 +8 张zz111 2026-03-27 9/450 2026-03-28 03:41 by fmesaito
[考研] 070300化学求调剂 +4 起个名咋这么难 2026-03-27 4/200 2026-03-27 21:39 by 83503孙老师
[考研] 285求调剂 +4 AZMK 2026-03-27 7/350 2026-03-27 20:59 by AZMK
[考研] 食品工程专硕一志愿中海洋309求调剂 +3 小张zxy张 2026-03-26 5/250 2026-03-27 18:42 by 小张zxy张
[考研] 一志愿南师大0703化学 275求调剂 +4 Ripcord上岸 2026-03-27 4/200 2026-03-27 17:00 by zhyzzh
[考研] 化学308分求调剂 +8 你好明天你好 2026-03-23 9/450 2026-03-27 14:01 by 杨光于青云
[考研] 081200-11408-276学硕求调剂 +3 崔wj 2026-03-26 3/150 2026-03-27 07:58 by chemisry
[考研] 327求调剂 +7 prayer13 2026-03-23 7/350 2026-03-26 20:48 by 不吃魚的貓
[考研] 352求调剂 +4 大米饭！ 2026-03-22 4/200 2026-03-26 16:40 by 不吃魚的貓
[考研] 打过很多竞赛，085406控制工程300分，求调剂 +3 askeladz 2026-03-26 3/150 2026-03-26 09:08 by 给你你注意休息
[考研] 309求调剂 +4 gajsj 2026-03-25 5/250 2026-03-26 00:27 by Dyhoer
[考研] 0854电子信息求调剂 324 +4 Promise-jyl 2026-03-23 4/200 2026-03-25 11:36 by Sugarlight
[考研] 086003食品工程求调剂 +6 淼淼111 2026-03-24 6/300 2026-03-25 10:29 by 3Strings
[考研] 一志愿武理085500机械专业总分300求调剂 +3 an10101 2026-03-24 7/350 2026-03-25 00:00 by 山鬼0-
[考研] 调剂 +4 13853210211 2026-03-24 4/200 2026-03-24 19:44 by ms629
[考研] 300求调剂，材料科学英一数二 +5 leaflight 2026-03-24 5/250 2026-03-24 16:25 by laoshidan
[考研] 293求调剂 +3 涛涛Wjt 2026-03-22 5/250 2026-03-22 22:21 by jiangpengfei
[考研] 求调剂一志愿海大，0703化学学硕304分，有大创项目，四级已过 +6 幸运哩哩 2026-03-22 10/500 2026-03-22 20:10 by edmund7
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭