24小时热门版块排行榜

返回列表

当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

mwjsx

新虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 6.5
帖子: 11
在线: 4.4小时
虫号: 1086243
注册: 2010-09-01
专业: 光学

[求助] SU 8 光刻问题，希望各位大神指点一下已有4人参与

先介绍一下基本情况本人用的SU-8 2100, 旋涂80 微米，前烘: 65度 5分钟，95度15分钟; 后烘: 65度1分钟，95度7分钟; 显影: PGMEA中超声显影40分钟。想做的结构是一个三维的锯齿状的结构，处理后得到的横截面图，可以看到图中的结构有些弯曲，查了一些文献，原因可能是su-8 吸收了一部分显影液变软了，请问各位大神还有什么其他的原因呢? 我的流程中有什么可以改进的? 谢谢！！！！

锯齿状横截面

回复此楼

» 猜你喜欢

请问对标matlab的开源软件octave的网站https://octave.org为什么打不开？已经有1人回复
求助两种BiOBr晶体的CIF文件（卡片号为JCPDS 09-0393与JCPDS 01-1004 ）已经有0人回复
无机化学论文润色/翻译怎么收费? 已经有138人回复
哈尔滨工程大学材化学院国家级青年人才-26年硕士招生已经有0人回复
求助Fe-TCPP、Zn-TCPP的CIF文件，或者CCDC号已经有0人回复
XPS/?λXPS 已经有0人回复
河北大学-26年秋季入学化学博士招生已经有0人回复

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

ICP刻蚀光刻负胶SU-8 已经有5人回复
缩醛脱保护的问题，求大神指点已经有14人回复
关于镀金的问题已经有9人回复
求助SU-8为什么大面积脱落已经有27人回复
AZ胶光刻显影时间不确定。。。求大神已经有8人回复
有了解SU-8光刻胶发展史的吗？帮忙！已经有3人回复
【求助】各位大神，有谁知道怎样从硅片上揭下光刻好的SU-8胶么？已经有17人回复
请教：哪位知道SU-8光刻胶用什么溶液溶解后可以和甲苯溶液混合？已经有3人回复
SU-8负性光刻溶剂已经有12人回复
求助SU-8光刻胶网购地址、电话已经有6人回复

1楼 2015-02-04 19:00:30

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

mwjsx

新虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 6.5
帖子: 11
在线: 4.4小时
虫号: 1086243
注册: 2010-09-01
专业: 光学

引用回帖:

7楼: Originally posted by nancy10214 at 2015-02-06 09:01:02
交联的SU-8胶结构内应力很大,可以导致基底弯曲变形和胶的开裂. 所以加热必须缓慢,冷却应在热板上随热板冷却到室温。另外你的结构不对称应力体现更明显。yswyx是高手，他们做的很多，问问试试。

我的样品都是缓慢加热和冷却的，谢谢你的意见！！！