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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » SU 8 光刻 问题，希望各位大神指点一下
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mwjsx

新虫 (初入文坛)

[求助] SU 8 光刻 问题，希望各位大神指点一下 已有4人参与

先介绍一下基本情况 本人用的SU-8 2100, 旋涂80 微米，前烘: 65度 5分钟，95度15分钟; 后烘: 65度1分钟，95度7分钟; 显影: PGMEA中超声显影40分钟。想做的结构是一个三维的锯齿状的结构，处理后得到的横截面图，可以 看到图中的结构有些弯曲，查了一些文献，原因可能是su-8 吸收了一部分显影液变软了，请问各位大神还有什么其他的原因呢? 我的流程中有什么可以改进的? 谢谢！！！！

SU 8 光刻 问题，希望各位大神指点一下
锯齿状横截面
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1楼 2015-02-04 19:00:30
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mwjsx

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
7楼: Originally posted by nancy10214 at 2015-02-06 09:01:02
交联的SU-8胶结构内应力很大,可以导致基底弯曲变形和胶的开裂. 所以加热必须缓慢,冷却应在热板上随热板冷却到室温。另外你的结构不对称应力体现更明显。yswyx是高手，他们做的很多，问问试试。

我的样品都是缓慢加热和冷却的，谢谢你的意见！！！
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9楼2015-02-16 17:16:34
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exciting73

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
锯齿是对称的吗？这个深宽比还挺大。
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2楼2015-02-05 07:49:20
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
感谢参与，应助指数 +1
dgf2008: 屏蔽内容, 过期内容！ 2017-07-25 23:33:05
本帖内容被屏蔽
3楼2015-02-05 13:11:00
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mwjsx

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by exciting73 at 2015-02-05 07:49:20
锯齿是对称的吗？这个深宽比还挺大。

不是对称的，一边是垂直的一边是斜坡。深宽比是4:1左右吧。
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4楼2015-02-05 18:58:58
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