| 查看: 2163 | 回复: 10 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
[求助]
SU 8 光刻 问题，希望各位大神指点一下 已有4人参与
|
||
先介绍一下基本情况 本人用的SU-8 2100, 旋涂80 微米，前烘: 65度 5分钟，95度15分钟; 后烘: 65度1分钟，95度7分钟; 显影: PGMEA中超声显影40分钟。想做的结构是一个三维的锯齿状的结构，处理后得到的横截面图，可以 看到图中的结构有些弯曲，查了一些文献，原因可能是su-8 吸收了一部分显影液变软了，请问各位大神还有什么其他的原因呢? 我的流程中有什么可以改进的? 谢谢！！！！ 锯齿状横截面 |
回复此楼» 猜你喜欢
院士团队-每届学生都优秀-高自由度-团队氛围好
已经有0人回复
-
求调剂
已经有3人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有293人回复
-
化工学院（学院正式调剂群+联系方式）
已经有0人回复
-
化工学院（学院官方群）-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟高效
已经有0人回复
-
黑龙江大学分析化学招调剂
已经有0人回复
-
武汉高校国家级人才团队招收材料，化学，纺织等专业硕士调剂生
已经有26人回复
-
纺大化工学院（官方群）-院士团队招生-学生自由度高发展好-培养模式成熟
已经有0人回复
-
温州大学化材学院王娟课题组招生
已经有5人回复
-
学院官方群-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟已有10余名学生赴985海外深造
已经有0人回复
-
武汉纺织大学化工学院官方群-院士团队招生-学生自由度高-10余名学生赴985海外深造
已经有0人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- ICP刻蚀光刻负胶SU-8
已经有5人回复
- 缩醛脱保护的问题，求大神指点
已经有14人回复
- 关于镀金的问题
已经有9人回复
- 求助SU-8为什么大面积脱落
已经有27人回复
- AZ胶光刻显影时间不确定。。。求大神
已经有8人回复
- 有了解SU-8光刻胶发展史的吗？帮忙！
已经有3人回复
- 【求助】各位大神，有谁知道怎样从硅片上揭下光刻好的SU-8胶么？
已经有17人回复
- 请教：哪位知道SU-8光刻胶用什么溶液溶解后可以和甲苯溶液混合？
已经有3人回复
- SU-8负性光刻 溶剂
已经有12人回复
- 求助SU-8光刻胶网购地址、电话
已经有6人回复
9楼2015-02-16 17:16:34
exciting73 
金虫 (著名写手)
- 应助: 110 (高中生)
- 金币: 579.9
- 红花: 20
- 帖子: 1785
- 在线: 272.7小时
- 虫号: 1946276
- 注册: 2012-08-19
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
2楼2015-02-05 07:49:20
感谢参与，应助指数 +1
dgf2008: 屏蔽内容, 过期内容！ 2017-07-25 23:33:05
dgf2008: 屏蔽内容, 过期内容！ 2017-07-25 23:33:05
|
本帖内容被屏蔽 |
3楼2015-02-05 13:11:00
4楼2015-02-05 18:58:58
