应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 硅衬底上的超薄二氧化硅层怎么准确测量
汕头大学海洋科学接受调剂
51/1返回列表
查看: 1419  |  回复: 10
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

haipinghu008

金虫 (正式写手)

[求助] 硅衬底上的超薄二氧化硅层怎么准确测量 已有2人参与

在多晶制绒、扩散、去磷硅玻璃后的硅片上用某设备长超薄的二氧化硅层，其厚度预计约6nm-10nm，这个厚度是根据亲水性预估的，因硅片的亲水性较好，一般呈亲水性，其厚度在6nm以上？多晶硅片绒面的大小：长端长度为4-7um，窄端长度为2-4um，深度为1-4um，不知用什么方法可以较准确地测量出该硅片上面的超薄二氧化硅层？
如不能，用硅抛光片代替常规硅片，直接在该设备上长二氧化硅层，因抛光片表面非常平整且未掺杂，预计生成的二氧化硅层厚度更薄，不知可在抛光片上测量其生长的二氧化硅层厚度？
谢谢！
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2015-01-30 10:14:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wangganglzu

至尊木虫 (职业作家)
引用回帖:
7楼: Originally posted by haipinghu008 at 2015-01-30 16:26:08
好像30nm以下测试很不准确，10nm椭偏仪好像不行的啊

可以的，没问题的，我们这做SOI材料的，均是用椭偏测试仪测试，误差在埃量级
赞一下 回复此楼
天道酬勤
8楼2015-01-30 16:50:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 11 个回答

liupeitao08

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
haipinghu008: 金币+10, ★★★很有帮助, 关键是在微米级的绒面上测试纳米级的二氧化硅层不知可以否？TEM会不会损坏探针？谢谢！ 2015-01-30 10:58:57
可以用SEM，但是最好用TEM
赞一下 回复此楼
2楼2015-01-30 10:53:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

石银东

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

商家已经主动声明此回帖可能含有宣传内容
感谢参与，应助指数 +1
我可以理解为您说的是单层膜厚度的测量：基底（微米级别区域）+薄膜（纳米级别的厚度），可以使用顶级薄膜测厚仪，在半导体行业应用较多，可以形成最小5微米的光斑，测试膜厚的精度为0.1nm，也就是1A，最多可以测试5层膜厚，所以对你说的样品是可以实现测量的。

有兴趣可以加下扣扣，我给你点资料看看。
赞一下 回复此楼
3楼2015-01-30 10:55:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

haipinghu008

金虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 石银东 at 2015-01-30 10:55:05
我可以理解为您说的是单层膜厚度的测量：基底（微米级别区域）+薄膜（纳米级别的厚度），可以使用顶级薄膜测厚仪，在半导体行业应用较多，可以形成最小5微米的光斑，测试膜厚的精度为0.1nm，也就是1A，最多可以测试 ...

硅衬底表面已被制成微米级的绒面，该绒面类似于人踩在沙滩上的脚印，再在该绒面上长二氧化硅层（预计10nm以内），其它都理解正确，我的Q：406267518，希望能详细了解，不知为啥不能给你金币，请版主帮忙，2天之内回帖，一律赏10金币，非常感谢！
赞一下 回复此楼
4楼2015-01-30 11:05:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 11 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 085801电气专硕272求调剂 +16 电气李 2026-04-13 18/900 2026-04-15 09:17 by heqizheng
[考研] 求调剂推荐 +5 小聂爱学习 2026-04-14 5/250 2026-04-15 09:01 by blunt110
[考研] 一志愿鲁东大学071000生物学学硕初试分数276求调剂 +26 慕绝cc 2026-04-09 30/1500 2026-04-14 18:50 by 蔡苏阳
[考研] 一志愿中国科学院上海有机所，有机化学356分找调剂 +12 Nadiums 2026-04-09 13/650 2026-04-14 17:54 by lhj2009
[考研] 恳请有学校收留 +3 柯淮然 2026-04-12 3/150 2026-04-14 16:25 by 逆水乘风
[考研] 245求调剂 +6 冰糖橘?汽水 2026-04-13 10/500 2026-04-14 10:49 by jyl0317
[考研] 一志愿西交机械专硕求调剂 +9 求上岸的小王 2026-04-10 9/450 2026-04-13 16:08 by jiangguiquan11
[考研] 材料考研调剂 +29 云木达达 2026-04-11 31/1550 2026-04-13 13:32 by lyh鲁老师
[考研] 339求调剂 +4 hanwudada 2026-04-12 4/200 2026-04-13 12:03 by 蓝云思雨
[考研] 270求调剂 +14 杨乐369 2026-04-11 14/700 2026-04-11 20:16 by 蓝云思雨
[考研] 0859，337求调剂 +4 研s. 2026-04-10 4/200 2026-04-11 11:34 by caotw2020
[考研] 085410-273求调剂 +6 X1999 2026-04-10 6/300 2026-04-11 10:32 by Delta2012
[考研] 311求调剂 +13 xyp想读书 2026-04-10 14/700 2026-04-11 09:41 by 猪会飞
[考研] 368求调剂 +3 17385968172 2026-04-10 3/150 2026-04-10 20:12 by 电子奥德彪
[考研] 一志愿矿大，材料工程专硕314分，0856可调都可以 +15 无懈可击的巨人 2026-04-09 15/750 2026-04-10 18:10 by hmn_wj
[考研] 初试261 +3 Asht少 2026-04-10 6/300 2026-04-10 16:38 by Asht少
[考研] 一志愿沪9，326生物学求相关专业调剂 +4 刘墨墨 2026-04-09 4/200 2026-04-10 12:07 by pengliang8036
[考研] 求机械专硕297第二批调剂 +5 拾柒12。 2026-04-08 5/250 2026-04-09 16:43 by 允当适度
[考研] 349学科化学045106求调剂，化学类都可以 +8 保好懂懂 2026-04-08 8/400 2026-04-09 14:03 by xulei3024
[考研] 求调剂 +3 猪肉墩粉条cc 2026-04-08 4/200 2026-04-09 10:05 by 猪肉墩粉条cc
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭