| 查看: 1522 | 回复: 10 | ||
haipinghu008金虫 (正式写手)
|
[求助]
硅衬底上的超薄二氧化硅层怎么准确测量 已有2人参与
|
|
在多晶制绒、扩散、去磷硅玻璃后的硅片上用某设备长超薄的二氧化硅层，其厚度预计约6nm-10nm，这个厚度是根据亲水性预估的，因硅片的亲水性较好，一般呈亲水性，其厚度在6nm以上？多晶硅片绒面的大小：长端长度为4-7um，窄端长度为2-4um，深度为1-4um，不知用什么方法可以较准确地测量出该硅片上面的超薄二氧化硅层？ 如不能，用硅抛光片代替常规硅片，直接在该设备上长二氧化硅层，因抛光片表面非常平整且未掺杂，预计生成的二氧化硅层厚度更薄，不知可在抛光片上测量其生长的二氧化硅层厚度？ 谢谢！ |
回复此楼» 猜你喜欢
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有278人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 如何在膜上再做一层膜？
已经有4人回复
- 在硅衬底和二氧化硅衬底上如何做金（Au）薄膜
已经有11人回复
- sem下观察薄膜上镀的二氧化硅
已经有5人回复
- sem看二氧化硅薄膜看不到怎么办
已经有10人回复
- 【求助】在硅衬底上长二氧化硅薄膜的方法
已经有11人回复
- 【求助】请问如何在硅片上镀一层二氧化硅薄膜？
已经有34人回复
liupeitao08
银虫 (正式写手)
- 应助: 10 (幼儿园)
- 金币: 365.2
- 红花: 5
- 帖子: 772
- 在线: 126.7小时
- 虫号: 2481455
- 注册: 2013-05-25
- 性别: GG
- 专业: 催化化学
2楼2015-01-30 10:53:49
石银东
木虫 (正式写手)
- 应助: 139 (高中生)
- 金币: 6411.1
- 散金: 411
- 红花: 36
- 帖子: 927
- 在线: 909.6小时
- 虫号: 3564733
- 注册: 2014-11-28
- 专业: 数论
3楼2015-01-30 10:55:05
haipinghu008
金虫 (正式写手)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 1216.7
- 红花: 1
- 帖子: 392
- 在线: 467小时
- 虫号: 137942
- 注册: 2005-12-18
- 性别: GG
- 专业: 电工材料特性及其应用
4楼2015-01-30 11:05:16
haipinghu008
金虫 (正式写手)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 1216.7
- 红花: 1
- 帖子: 392
- 在线: 467小时
- 虫号: 137942
- 注册: 2005-12-18
- 性别: GG
- 专业: 电工材料特性及其应用
5楼2015-01-30 11:06:32
wangganglzu
至尊木虫 (职业作家)
- 应助: 8 (幼儿园)
- 金币: 31039.9
- 散金: 821
- 红花: 8
- 帖子: 4731
- 在线: 553.8小时
- 虫号: 1418588
- 注册: 2011-09-26
- 性别: GG
- 专业: 半导体光电子器件
6楼2015-01-30 16:19:55
haipinghu008
金虫 (正式写手)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 1216.7
- 红花: 1
- 帖子: 392
- 在线: 467小时
- 虫号: 137942
- 注册: 2005-12-18
- 性别: GG
- 专业: 电工材料特性及其应用
7楼2015-01-30 16:26:08
wangganglzu
至尊木虫 (职业作家)
- 应助: 8 (幼儿园)
- 金币: 31039.9
- 散金: 821
- 红花: 8
- 帖子: 4731
- 在线: 553.8小时
- 虫号: 1418588
- 注册: 2011-09-26
- 性别: GG
- 专业: 半导体光电子器件
8楼2015-01-30 16:50:51
9楼2015-01-30 17:37:15
wangganglzu
至尊木虫 (职业作家)
- 应助: 8 (幼儿园)
- 金币: 31039.9
- 散金: 821
- 红花: 8
- 帖子: 4731
- 在线: 553.8小时
- 虫号: 1418588
- 注册: 2011-09-26
- 性别: GG
- 专业: 半导体光电子器件
10楼2015-01-31 18:43:38
