应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 陶瓷材料 » 电子束蒸发镀Y3Fe5O12
51/1返回列表
查看: 1731  |  回复: 9
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

gao198907

铜虫 (小有名气)

[求助] 电子束蒸发镀Y3Fe5O12 已有2人参与

用高真空电子束镀膜机镀Y3Fe5O12薄膜，用的是块状的Y3Fe5O12靶材，但是做出来的薄膜退火完，去测XRD发现全是Fe2O3，没有测到Y3Fe5O12和Y2O3。这是什么原因呢
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

薄膜制备与特性

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2015-01-27 19:06:00
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

gao198907

铜虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
4楼: Originally posted by 小山田心子 at 2015-01-28 17:14:47
你的仪器只有电子束吗？里面没有真空蒸发吗？如果有的话我建议你还是用真空蒸发蒸镀铁的化合物，用电子束蒸镀氧化钇。你们当初做靶材的没有考虑到这些问题吗？我觉得你不行试试激光溅射吧...

里面还有电阻蒸发，我们有磁控溅射和PLD，但是一个同学负责一个方向，我只能用电子束蒸发
赞一下 回复此楼
8楼2015-01-28 23:47:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 10 个回答

小山田心子

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
首先呢我建议你去测试一下你靶材的XRD，国内有些靶材做的不是太好。
其次，你用电子束蒸镀的过程中可能由于钇氧化物的升华温度很高，而你的电子束电流不够所导致的。所以适当的调整蒸镀电流，同时，查找相关的升华温度。
最后，建议查找Y3Fe5O12XRD的标准谱，然后和你目前测试的结果进行比对。
我以前没做过这种物质，但是我接触过电子束，所以可能说的也不是太对，希望对你有帮助。
赞一下 回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

gao198907
2楼2015-01-28 12:13:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

gao198907

铜虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by 小山田心子 at 2015-01-28 12:13:07
首先呢我建议你去测试一下你靶材的XRD，国内有些靶材做的不是太好。
其次，你用电子束蒸镀的过程中可能由于钇氧化物的升华温度很高，而你的电子束电流不够所导致的。所以适当的调整蒸镀电流，同时，查找相关的升华 ...

靶材是我们自己做的，电镜，xrd，vsm都测了纯度那些都没问题，现在遇到的问题就是氧化钇还留在坩埚里，当时用熔过的靶材去做了个能谱，里面铁都走完了，只剩下钇了，但是电子束束流又不能加的快（电子枪到某一真空度就自己关闭了），所以导致氧化钇还没蒸发，靶材局部氧化铁就已经跑光了，如果能很快把束流加上去，能让它们同时蒸发就好了
赞一下 回复此楼
3楼2015-01-28 14:11:15
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

小山田心子

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by gao198907 at 2015-01-28 14:11:15
靶材是我们自己做的，电镜，xrd，vsm都测了纯度那些都没问题，现在遇到的问题就是氧化钇还留在坩埚里，当时用熔过的靶材去做了个能谱，里面铁都走完了，只剩下钇了，但是电子束束流又不能加的快（电子枪到某一真空 ...

你的仪器只有电子束吗？里面没有真空蒸发吗？如果有的话我建议你还是用真空蒸发蒸镀铁的化合物，用电子束蒸镀氧化钇。你们当初做靶材的没有考虑到这些问题吗？我觉得你不行试试激光溅射吧
赞一下 回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

gao198907
4楼2015-01-28 17:14:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 10 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 288求调剂，一志愿华南理工大学071005 +5 ioodiiij 2026-03-17 5/250 2026-03-19 18:22 by zcl123
[考博] 东华理工大学化材专业26届硕士博士申请 +8 zlingli 2026-03-13 8/400 2026-03-19 16:32 by 轻松不少随
[考研] 【考研调剂】化学专业 281分，一志愿四川大学，诚心求调剂 +5 吃吃吃才有意义 2026-03-19 5/250 2026-03-19 16:18 by 30660438
[考研] 本人考085602 化学工程 专硕 +17 不知道叫什么！ 2026-03-15 19/950 2026-03-19 15:06 by 尽舜尧1
[考研] 085600材料与化工求调剂 +6 绪幸与子 2026-03-17 6/300 2026-03-19 13:27 by houyaoxu
[考研] 材料080500调剂求收留 +4 一颗meteor 2026-03-13 4/200 2026-03-19 10:32 by 30660438
[考研] 一志愿985，本科211，0817化学工程与技术319求调剂 +10 Liwangman 2026-03-15 10/500 2026-03-19 10:25 by 无际的草原
[考研] 344求调剂 +6 knight344 2026-03-16 7/350 2026-03-18 20:13 by walc
[考研] 一志愿西南交大，求调剂 +4 材化逐梦人 2026-03-18 4/200 2026-03-18 14:22 by 007_lilei
[考研] 265求调剂 +3 梁梁校校 2026-03-17 3/150 2026-03-18 09:12 by zhukairuo
[考研] 268求调剂 +6 简单点0 2026-03-17 6/300 2026-03-18 09:04 by 无际的草原
[考研] 301求调剂 +4 A_JiXing 2026-03-16 4/200 2026-03-17 17:32 by ruiyingmiao
[硕博家园] 湖北工业大学 生命科学与健康学院-课题组招收2026级食品/生物方向硕士 +3 1喜春8 2026-03-17 5/250 2026-03-17 17:18 by ber川cool子
[考研] 材料专硕326求调剂 +6 墨煜姒莘 2026-03-15 7/350 2026-03-17 17:10 by ruiyingmiao
[考研] 药学383 求调剂 +3 药学chy 2026-03-15 4/200 2026-03-16 20:51 by 元子^0^
[考研] 304求调剂 +3 曼殊2266 2026-03-14 3/150 2026-03-16 16:39 by houyaoxu
[考研] 326求调剂 +3 mlpqaz03 2026-03-15 3/150 2026-03-16 07:33 by Iveryant
[考研] 297一志愿上交085600求调剂 +5 指尖八千里 2026-03-14 5/250 2026-03-14 17:26 by a不易
[硕博家园] 085600 260分求调剂 +3 天空还下雨么 2026-03-13 5/250 2026-03-13 18:46 by 天空还下雨么
[考研] 290求调剂 +3 ADT 2026-03-13 3/150 2026-03-13 10:19 by peike
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭