应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 陶瓷材料 » 电子束蒸发镀Y3Fe5O12
51/1返回列表
查看: 1727  |  回复: 9
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

gao198907

铜虫 (小有名气)

[求助] 电子束蒸发镀Y3Fe5O12 已有2人参与

用高真空电子束镀膜机镀Y3Fe5O12薄膜，用的是块状的Y3Fe5O12靶材，但是做出来的薄膜退火完，去测XRD发现全是Fe2O3，没有测到Y3Fe5O12和Y2O3。这是什么原因呢
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

薄膜制备与特性

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2015-01-27 19:06:00
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

小山田心子

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by gao198907 at 2015-01-28 14:11:15
靶材是我们自己做的，电镜，xrd，vsm都测了纯度那些都没问题，现在遇到的问题就是氧化钇还留在坩埚里，当时用熔过的靶材去做了个能谱，里面铁都走完了，只剩下钇了，但是电子束束流又不能加的快（电子枪到某一真空 ...

你的仪器只有电子束吗？里面没有真空蒸发吗？如果有的话我建议你还是用真空蒸发蒸镀铁的化合物，用电子束蒸镀氧化钇。你们当初做靶材的没有考虑到这些问题吗？我觉得你不行试试激光溅射吧
赞一下 回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

gao198907
4楼2015-01-28 17:14:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 10 个回答

小山田心子

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
首先呢我建议你去测试一下你靶材的XRD，国内有些靶材做的不是太好。
其次，你用电子束蒸镀的过程中可能由于钇氧化物的升华温度很高，而你的电子束电流不够所导致的。所以适当的调整蒸镀电流，同时，查找相关的升华温度。
最后，建议查找Y3Fe5O12XRD的标准谱，然后和你目前测试的结果进行比对。
我以前没做过这种物质，但是我接触过电子束，所以可能说的也不是太对，希望对你有帮助。
赞一下 回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

gao198907
2楼2015-01-28 12:13:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

gao198907

铜虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by 小山田心子 at 2015-01-28 12:13:07
首先呢我建议你去测试一下你靶材的XRD，国内有些靶材做的不是太好。
其次，你用电子束蒸镀的过程中可能由于钇氧化物的升华温度很高，而你的电子束电流不够所导致的。所以适当的调整蒸镀电流，同时，查找相关的升华 ...

靶材是我们自己做的，电镜，xrd，vsm都测了纯度那些都没问题，现在遇到的问题就是氧化钇还留在坩埚里，当时用熔过的靶材去做了个能谱，里面铁都走完了，只剩下钇了，但是电子束束流又不能加的快（电子枪到某一真空度就自己关闭了），所以导致氧化钇还没蒸发，靶材局部氧化铁就已经跑光了，如果能很快把束流加上去，能让它们同时蒸发就好了
赞一下 回复此楼
3楼2015-01-28 14:11:15
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

winter1liu

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
电子束蒸发要考虑每种物质的饱和蒸汽压不同，Y2O3的蒸汽压要远远小于Fe2O3,导致你蒸发出来的几乎都是Fe2O3,这种情况下，你最好做成两个靶材，然后同时蒸发，采用不同的蒸发功率，控制成分
赞一下 回复此楼
5楼2015-01-28 21:18:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 10 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 344求调剂 +6 knight344 2026-03-16 7/350 2026-03-18 20:13 by walc
[考研] 0703化学调剂，求各位老师收留 +9 秋有木北 2026-03-14 9/450 2026-03-18 19:49 by macy2011
[考研] 一志愿中国海洋大学，生物学，301分，求调剂 +4 1孙悟空 2026-03-17 4/200 2026-03-18 17:59 by fivewind
[考研] 085600材料与化工 +5 安全上岸！ 2026-03-16 5/250 2026-03-18 15:33 by cmz0325
[考研] 材料与化工一志愿南昌大学327求调剂推荐 +8 Ncdx123456 2026-03-13 9/450 2026-03-18 14:40 by haxia
[考研] 297求调剂 +8 戏精丹丹丹 2026-03-17 8/400 2026-03-18 14:30 by laoshidan
[考研] 材料专硕306英一数二 +10 z1z2z3879 2026-03-16 13/650 2026-03-18 14:20 by 007_lilei
[考研] 334求调剂 +3 志存高远意在机� 2026-03-16 3/150 2026-03-18 08:34 by lm4875102
[基金申请] 被我言中：新模板不强调格式了，假专家开始管格式了 +4 beefly 2026-03-14 4/200 2026-03-17 22:04 by 黄鸟于飞Chao
[考研] 材料工程专硕274一志愿211求调剂 +6 薛云鹏 2026-03-15 6/300 2026-03-17 11:05 by 学员h26Tkc
[考研] 285化工学硕求调剂（081700） +9 柴郡猫_ 2026-03-12 9/450 2026-03-17 10:18 by Sammy2
[考研] 11408 一志愿西电，277分求调剂 +3 zhouzhen654 2026-03-16 3/150 2026-03-17 07:03 by laoshidan
[考研] 一志愿211 0703方向310分求调剂 +3 努力奋斗112 2026-03-15 3/150 2026-03-16 16:44 by houyaoxu
[考研] 318求调剂 +3 Yanyali 2026-03-15 3/150 2026-03-16 16:41 by houyaoxu
[考研] 一志愿华中师范071000，325求调剂 +6 RuitingC 2026-03-12 6/300 2026-03-16 14:50 by 可淡不可忘
[考研] 288求调剂 +4 奇点0314 2026-03-14 4/200 2026-03-14 23:04 by JourneyLucky
[考研] 本科南京大学一志愿川大药学327 +3 麦田耕者 2026-03-14 3/150 2026-03-14 20:04 by 外星文明
[考研] 297一志愿上交085600求调剂 +5 指尖八千里 2026-03-14 5/250 2026-03-14 17:26 by a不易
[基金申请] 现在如何回避去年的某一个专家，不知道名字 +3 zk200107 2026-03-12 6/300 2026-03-14 17:13 by zk200107
[考研] 招收0805（材料）调剂 +3 18595523086 2026-03-13 3/150 2026-03-14 00:33 by 123%、
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭