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gao198907

铜虫 (小有名气)

[求助] 电子束蒸发镀Y3Fe5O12 已有2人参与

用高真空电子束镀膜机镀Y3Fe5O12薄膜,用的是块状的Y3Fe5O12靶材,但是做出来的薄膜退火完,去测XRD发现全是Fe2O3,没有测到Y3Fe5O12和Y2O3。这是什么原因,难道是Y太重了吗,蒸发不上去吗
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小山田心子

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
首先呢我建议你去测试一下你靶材的XRD,国内有些靶材做的不是太好。
其次,你用电子束蒸镀的过程中可能由于钇氧化物的升华温度很高,而你的电子束电流不够所导致的。所以适当的调整蒸镀电流,同时,查找相关的升华温度。
最后,建议查找Y3Fe5O12XRD的标准谱,然后和你目前测试的结果进行比对。
我以前没做过这种物质,但是我接触过电子束,所以可能说的也不是太对,希望对你有帮助,我以前做过稀土氧化物,的确是不太好蒸镀,电子束电流达不到的话是一点都没有的,但是达到一定的电流后蒸镀速率会很大,不太好控制,以前我用仪器也是国产的,控制精度也不高。
2楼2015-01-28 12:19:50
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lisx2525

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

做氧化物用PLD 可能会比较好。  电子束可能会产生成份偏析,因为每种材料的升华的温度不同,同时你可能需要补充一些氧气
3楼2015-06-04 15:58:38
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