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gao198907

铜虫 (小有名气)

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[求助] 电子束蒸发镀Y3Fe5O12已有2人参与

用高真空电子束镀膜机镀Y3Fe5O12薄膜，用的是块状的Y3Fe5O12靶材，但是做出来的薄膜退火完，去测XRD发现全是Fe2O3，没有测到Y3Fe5O12和Y2O3。这是什么原因，难道是Y太重了吗，蒸发不上去吗

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薄膜制备与特性

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1楼2015-01-27 13:25:28

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小山田心子

木虫 (正式写手)

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专业: 半导体晶体与薄膜材料

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1

首先呢我建议你去测试一下你靶材的XRD，国内有些靶材做的不是太好。
其次，你用电子束蒸镀的过程中可能由于钇氧化物的升华温度很高，而你的电子束电流不够所导致的。所以适当的调整蒸镀电流，同时，查找相关的升华温度。
最后，建议查找Y3Fe5O12XRD的标准谱，然后和你目前测试的结果进行比对。
我以前没做过这种物质，但是我接触过电子束，所以可能说的也不是太对，希望对你有帮助，我以前做过稀土氧化物，的确是不太好蒸镀，电子束电流达不到的话是一点都没有的，但是达到一定的电流后蒸镀速率会很大，不太好控制，以前我用仪器也是国产的，控制精度也不高。

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2楼2015-01-28 12:19:50

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lisx2525

新虫 (初入文坛)

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【答案】应助回帖

做氧化物用PLD 可能会比较好。电子束可能会产生成份偏析，因为每种材料的升华的温度不同，同时你可能需要补充一些氧气

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3楼2015-06-04 15:58:38

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