24小时热门版块排行榜

返回列表

gao198907

铜虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 41
散金: 20
帖子: 52
在线: 74.5小时
虫号: 2650061
注册: 2013-09-12
专业: 半导体晶体与薄膜材料

[求助] 电子束蒸发镀Y3Fe5O12已有2人参与

用高真空电子束镀膜机镀Y3Fe5O12薄膜，用的是块状的Y3Fe5O12靶材，但是做出来的薄膜退火完，去测XRD发现全是Fe2O3，没有测到Y3Fe5O12和Y2O3。这是什么原因，难道是Y太重了吗，蒸发不上去吗

回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

薄膜制备与特性

» 猜你喜欢

谭编的ECbox电化学分析软件，请提供下载链接已经有0人回复
求助origin 8.0或以上的软件，急已经有8人回复
冶金与矿业论文润色/翻译怎么收费? 已经有173人回复
TLC观测一些显色不灵敏化合物已经有2人回复
求助Jade6.0或以上分析软件，急已经有2人回复
2027届航空宇航科学与技术（学硕）求博导（3D打印复合材料力学性能方向）已经有10人回复
RuFe 已经有0人回复
德国伊尔梅瑙工业大学（TU Ilmenau）柔性电子方向诚邀CSC申请已经有0人回复
求推荐：3D打印复合材料力学性能研究方向的SCI期刊已经有10人回复
电池材料相关开发测试已经有10人回复
26申博自荐-电磁屏蔽材料方向已经有33人回复

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

1楼2015-01-27 13:25:28

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

小山田心子

木虫 (正式写手)

应助: 15 (小学生)
金币: 2348.6
散金: 518
红花: 7
帖子: 918
在线: 297.9小时
虫号: 1487315
注册: 2011-11-11
性别: GG
专业: 半导体晶体与薄膜材料

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1

首先呢我建议你去测试一下你靶材的XRD，国内有些靶材做的不是太好。
其次，你用电子束蒸镀的过程中可能由于钇氧化物的升华温度很高，而你的电子束电流不够所导致的。所以适当的调整蒸镀电流，同时，查找相关的升华温度。
最后，建议查找Y3Fe5O12XRD的标准谱，然后和你目前测试的结果进行比对。
我以前没做过这种物质，但是我接触过电子束，所以可能说的也不是太对，希望对你有帮助，我以前做过稀土氧化物，的确是不太好蒸镀，电子束电流达不到的话是一点都没有的，但是达到一定的电流后蒸镀速率会很大，不太好控制，以前我用仪器也是国产的，控制精度也不高。

赞一下

回复此楼

2楼2015-01-28 12:19:50

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

lisx2525

新虫 (初入文坛)

应助: 3 (幼儿园)
金币: 86.1
帖子: 31
在线: 6.9小时
虫号: 3239121
注册: 2014-05-28

【答案】应助回帖

做氧化物用PLD 可能会比较好。电子束可能会产生成份偏析，因为每种材料的升华的温度不同，同时你可能需要补充一些氧气

赞一下

回复此楼

3楼2015-06-04 15:58:38

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

相关版块跳转我要订阅楼主 gao198907 的主题更新

返回列表