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麦兜学化工

新虫 (小有名气)

[求助] 化学气相沉积 已有1人参与

本人想利用化学气相沉积制备粉末(管式炉内反应)。很多以前的文献报道该反应都是在基底上沉积成涂层或者是薄膜,提出的该过程的反应机理也都是表面反应。请问各位前辈,如何控制条件使反应为气相反应,以便均相成核,生成粉末颗粒呢?拜托了
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夜鹰1985

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

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麦兜学化工: 金币+15, ★★★很有帮助 2015-09-09 09:41:27
气相沉积无论是CVD还是PVD,产物主要都以厚度小的薄膜或厚度大的涂层为主。无论是控制反应时间,反应前驱体流量比,沉积温度等,均经过非均相成核-晶粒长大-成膜的过程。要通过控制反应参数制备粉末,CVD或PVD目前基本不可能,因为它的生长特性决定:晶粒的生长是朝着空间三维方向,无论是初期浓度低时的化学反应动力学控制(表面反应),还是后期浓度较大时的质量传输控制(扩散控制),在一定的形核密度下,晶体有自发成膜的趋势,以满足表面能量最低的要求。
即使在浓度特别大,即过饱和度极端的条件下,在极短的沉积时间内,涂层颗粒虽然会以长大为主,涂层呈疏松状,但局部区域也会形成薄膜,不会是粉末颗粒。
获得粉末的方法,或许可以将制备的薄膜取下,然后粉末化。
说的比较啰嗦,希望对你有所帮助。
2楼2015-09-08 09:41:11
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麦兜学化工

新虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 夜鹰1985 at 2015-09-08 09:41:11
气相沉积无论是CVD还是PVD,产物主要都以厚度小的薄膜或厚度大的涂层为主。无论是控制反应时间,反应前驱体流量比,沉积温度等,均经过非均相成核-晶粒长大-成膜的过程。要通过控制反应参数制备粉末,CVD或PVD目前基 ...

学习了
superman is always me
3楼2015-09-09 09:41:19
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