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化学气相沉积 已有1人参与
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| 本人想利用化学气相沉积制备粉末（管式炉内反应）。很多以前的文献报道该反应都是在基底上沉积成涂层或者是薄膜，提出的该过程的反应机理也都是表面反应。请问各位前辈，如何控制条件使反应为气相反应，以便均相成核，生成粉末颗粒呢？拜托了 |
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【答案】应助回帖
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麦兜学化工: 金币+15, ★★★很有帮助 2015-09-09 09:41:27
麦兜学化工: 金币+15, ★★★很有帮助 2015-09-09 09:41:27
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气相沉积无论是CVD还是PVD，产物主要都以厚度小的薄膜或厚度大的涂层为主。无论是控制反应时间，反应前驱体流量比，沉积温度等，均经过非均相成核-晶粒长大-成膜的过程。要通过控制反应参数制备粉末，CVD或PVD目前基本不可能，因为它的生长特性决定：晶粒的生长是朝着空间三维方向，无论是初期浓度低时的化学反应动力学控制（表面反应），还是后期浓度较大时的质量传输控制（扩散控制），在一定的形核密度下，晶体有自发成膜的趋势，以满足表面能量最低的要求。 即使在浓度特别大，即过饱和度极端的条件下，在极短的沉积时间内，涂层颗粒虽然会以长大为主，涂层呈疏松状，但局部区域也会形成薄膜，不会是粉末颗粒。 获得粉末的方法，或许可以将制备的薄膜取下，然后粉末化。 说的比较啰嗦，希望对你有所帮助。 |
2楼2015-09-08 09:41:11
麦兜学化工
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3楼2015-09-09 09:41:19
