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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 复合材料 » 碳复合 » 化学气相沉积方面的问题！只要回答的好金币不是问题！
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Easony

至尊木虫 (知名作家)

老顽童

[求助] 化学气相沉积方面的问题！只要回答的好金币不是问题！ 已有1人参与

碳源气体如果是用载气H2进入反应沉积室，那么如何保证碳源气体的流量和流速的精度？是通过载气的流量和流速么？
碳源气体可能是气态，也可能是液态，液态用载气带蒸汽好理解，但是气态用载气是什么原理呢？
而且液态源用载气能保证进入气体精度么？
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自信，坚持，善良，真实，简单生活，敢爱敢恨！
1楼 2014-06-25 17:24:16
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fanshuqi

至尊木虫 (职业作家)

_范er^-sTyLe
估计没人回答
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2楼2014-06-26 00:13:02
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Easony

至尊木虫 (知名作家)

老顽童
引用回帖:
2楼: Originally posted by fanshuqi at 2014-06-26 00:13:02
估计没人回答

小木虫我问的问题基本没人会。。。
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3楼2014-06-26 08:06:32
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fanshuqi

至尊木虫 (职业作家)

_范er^-sTyLe
引用回帖:
3楼: Originally posted by Easony at 2014-06-26 08:06:32
小木虫我问的问题基本没人会。。。...

多发几个板块试试，估计效果一般
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4楼2014-06-26 09:59:45
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Easony

至尊木虫 (知名作家)

老顽童
引用回帖:
4楼: Originally posted by fanshuqi at 2014-06-26 09:59:45
多发几个板块试试，估计效果一般...

算了，我还是下下文献得了，你那能向学校似的随便下文献么
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5楼2014-06-26 10:43:57
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fanshuqi

至尊木虫 (职业作家)

_范er^-sTyLe
引用回帖:
5楼: Originally posted by Easony at 2014-06-26 10:43:57
算了，我还是下下文献得了，你那能向学校似的随便下文献么...

哪能啊....我找师弟师妹下可以的
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6楼2014-06-26 21:20:18
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Easony

至尊木虫 (知名作家)

老顽童
引用回帖:
6楼: Originally posted by fanshuqi at 2014-06-26 21:20:18
哪能啊....我找师弟师妹下可以的...

我们系统只能下专利，文献还要给检索组，昨天帮我同学弄，就没找他们~~
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7楼2014-06-27 08:08:20
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ant_512

至尊木虫 (职业作家)

木虫——小蚂蚁...

优秀版主优秀版主

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
Easony(fanshuqi代发): 金币+1, 感谢应助 2014-06-27 22:56:21
首先气体流量可以通过专门的气体混合装置确定，可以调节气体流量，用氢气作载气的原理都一样，气态的碳源也得流动，如果是管式炉进行cvd，一般碳源流量很小，需要载气带动。
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stay hungry,stay foolish.
8楼2014-06-27 10:16:01
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Easony

至尊木虫 (知名作家)

老顽童
引用回帖:
8楼: Originally posted by ant_512 at 2014-06-27 10:16:01
首先气体流量可以通过专门的气体混合装置确定，可以调节气体流量，用氢气作载气的原理都一样，气态的碳源也得流动，如果是管式炉进行cvd，一般碳源流量很小，需要载气带动。

还是有点不清楚，首先我用体积流量计或者质量流量控制器确定气体流量，和您说的气体混合装置是一样的么？
其次，我想知道气态碳源气体是通过氢气载入的，那么如何保证碳源气体的准确流量和比例呢？氢气进入已经混合碳源气体了啊？出来的流量数值是混合气体的啊，比例也就不准确了。
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自信，坚持，善良，真实，简单生活，敢爱敢恨！
9楼2014-06-27 16:44:39
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fanshuqi

至尊木虫 (职业作家)

_范er^-sTyLe
引用回帖:
9楼: Originally posted by Easony at 2014-06-27 16:44:39
还是有点不清楚，首先我用体积流量计或者质量流量控制器确定气体流量，和您说的气体混合装置是一样的么？
其次，我想知道气态碳源气体是通过氢气载入的，那么如何保证碳源气体的准确流量和比例呢？氢气进入已经混 ...

方方不懂么？
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10楼2014-06-27 22:56:43
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