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化学气相沉积方面的问题！只要回答的好金币不是问题！已有1人参与
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碳源气体如果是用载气H2进入反应沉积室，那么如何保证碳源气体的流量和流速的精度？是通过载气的流量和流速么？ 碳源气体可能是气态，也可能是液态，液态用载气带蒸汽好理解，但是气态用载气是什么原理呢？ 而且液态源用载气能保证进入气体精度么？ |
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