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Easony

至尊木虫 (知名作家)

老顽童

[求助] 化学气相沉积方面的问题!只要回答的好金币不是问题! 已有1人参与

碳源气体如果是用载气H2进入反应沉积室,那么如何保证碳源气体的流量和流速的精度?是通过载气的流量和流速么?
碳源气体可能是气态,也可能是液态,液态用载气带蒸汽好理解,但是气态用载气是什么原理呢?
而且液态源用载气能保证进入气体精度么?
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自信,坚持,善良,真实,简单生活,敢爱敢恨!
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fanshuqi

至尊木虫 (职业作家)

_范er^-sTyLe

估计没人回答
2楼2014-06-26 00:13:02
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Easony

至尊木虫 (知名作家)

老顽童

引用回帖:
2楼: Originally posted by fanshuqi at 2014-06-26 00:13:02
估计没人回答

小木虫我问的问题基本没人会。。。
自信,坚持,善良,真实,简单生活,敢爱敢恨!
3楼2014-06-26 08:06:32
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fanshuqi

至尊木虫 (职业作家)

_范er^-sTyLe

引用回帖:
3楼: Originally posted by Easony at 2014-06-26 08:06:32
小木虫我问的问题基本没人会。。。...

多发几个板块试试,估计效果一般
4楼2014-06-26 09:59:45
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Easony

至尊木虫 (知名作家)

老顽童

引用回帖:
4楼: Originally posted by fanshuqi at 2014-06-26 09:59:45
多发几个板块试试,估计效果一般...

算了,我还是下下文献得了,你那能向学校似的随便下文献么
自信,坚持,善良,真实,简单生活,敢爱敢恨!
5楼2014-06-26 10:43:57
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fanshuqi

至尊木虫 (职业作家)

_范er^-sTyLe

引用回帖:
5楼: Originally posted by Easony at 2014-06-26 10:43:57
算了,我还是下下文献得了,你那能向学校似的随便下文献么...

哪能啊....我找师弟师妹下可以的
6楼2014-06-26 21:20:18
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Easony

至尊木虫 (知名作家)

老顽童

引用回帖:
6楼: Originally posted by fanshuqi at 2014-06-26 21:20:18
哪能啊....我找师弟师妹下可以的...

我们系统只能下专利,文献还要给检索组,昨天帮我同学弄,就没找他们~~
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7楼2014-06-27 08:08:20
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ant_512

至尊木虫 (职业作家)

木虫——小蚂蚁...

优秀版主优秀版主

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
Easony(fanshuqi代发): 金币+1, 感谢应助 2014-06-27 22:56:21
首先气体流量可以通过专门的气体混合装置确定,可以调节气体流量,用氢气作载气的原理都一样,气态的碳源也得流动,如果是管式炉进行cvd,一般碳源流量很小,需要载气带动。
stay hungry,stay foolish.
8楼2014-06-27 10:16:01
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Easony

至尊木虫 (知名作家)

老顽童

引用回帖:
8楼: Originally posted by ant_512 at 2014-06-27 10:16:01
首先气体流量可以通过专门的气体混合装置确定,可以调节气体流量,用氢气作载气的原理都一样,气态的碳源也得流动,如果是管式炉进行cvd,一般碳源流量很小,需要载气带动。

还是有点不清楚,首先我用体积流量计或者质量流量控制器确定气体流量,和您说的气体混合装置是一样的么?
其次,我想知道气态碳源气体是通过氢气载入的,那么如何保证碳源气体的准确流量和比例呢?氢气进入已经混合碳源气体了啊?出来的流量数值是混合气体的啊,比例也就不准确了。
自信,坚持,善良,真实,简单生活,敢爱敢恨!
9楼2014-06-27 16:44:39
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fanshuqi

至尊木虫 (职业作家)

_范er^-sTyLe

引用回帖:
9楼: Originally posted by Easony at 2014-06-27 16:44:39
还是有点不清楚,首先我用体积流量计或者质量流量控制器确定气体流量,和您说的气体混合装置是一样的么?
其次,我想知道气态碳源气体是通过氢气载入的,那么如何保证碳源气体的准确流量和比例呢?氢气进入已经混 ...

方方不懂么?
10楼2014-06-27 22:56:43
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