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氧化铝 Al2O3薄膜去除 已有3人参与
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大家好!我想去除正性光刻胶上通过电子束蒸发沉积的氧化铝薄膜,200nm厚度。请问用什么溶液或混合液能腐蚀得到较平整的膜表面? |
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2楼2014-11-18 14:05:40
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7楼2014-11-21 00:25:31
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