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Sapphire 蓝宝石衬底和Al2O3衬底的区别
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| 求教，用sputter生长薄膜时看到文献中经常用到Sapphire的衬底，取向是（0001）等，也看到有用Al2O3作为沉底生长的，Sapphire是Al2O3的其中一种吗？这两种有什么区别？ |
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在生长薄膜的衬底方面，蓝宝石、sapphire、α-Al2O3是一个意思，就是六方晶胞的氧化铝。常用的是单晶衬底C面，即(0001)面。另外还有R、A、M面，即不同的切割方向。 http://www.kjmti.com/products_de ... -1284341063112.html |
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