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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 晶体 » 测试表征 » 关于XRD phi-scan 的测试方法以及通过从测试结果分析面内生长取向
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narutozj

新虫 (初入文坛)

[求助] 关于XRD phi-scan 的测试方法以及通过从测试结果分析面内生长取向 已有1人参与

最近在研究蓝宝石上生长的非极性材料的GaN或者ZnO结构，看到文献中提及通过XRD可以表征面的Φ扫描可以确定在衬底上外延薄膜的生长方向，详见附件。结论是在a-GaN生长过程中，内平面生长关系为：[0001]-GaN丨丨[1ˉ101 ] sapphire ,[1ˉ100] GaN丨丨[112ˉ0]sapphire 。但是发现有些地方无法理解：首先是测试中的倾斜角ψ角如何确定；其次就是如何通过得到的phi扫描曲线来分析蓝宝石，也就是Al2O3，的哪个晶轴与外延薄膜的晶轴对应。文中提到通过phi峰的对应关系来确定，但由于才疏学浅，无法理解其中涵义，还请大家帮小弟分析分析，或者能提供相关phi扫描分析的相关资料，供学习。谢谢大家了，小弟感激不尽！
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1楼 2013-07-08 15:16:51
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YANG5377

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

这个问题还是比较好解决的。关键是要建立以蓝宝石r面为基准面的receipt 和以GaN a面以基准面的receipt，然后分别在两个receipt中调整晶面指数，比较两者TB(倾斜角)，差异在1°以内，分别扫这两者晶面的PHi，如果结果发现它们的衍射峰位是一致的，那么这两个晶面就是平行的，对应的方向就是面内外延关系。
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2楼2014-07-01 15:10:10
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