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关于XRD phi-scan 的测试方法以及通过从测试结果分析面内生长取向 已有1人参与
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| 最近在研究蓝宝石上生长的非极性材料的GaN或者ZnO结构，看到文献中提及通过XRD可以表征面的Φ扫描可以确定在衬底上外延薄膜的生长方向，详见附件。结论是在a-GaN生长过程中，内平面生长关系为：[0001]-GaN丨丨[1ˉ101 ] sapphire ,[1ˉ100] GaN丨丨[112ˉ0]sapphire 。但是发现有些地方无法理解：首先是测试中的倾斜角ψ角如何确定；其次就是如何通过得到的phi扫描曲线来分析蓝宝石，也就是Al2O3，的哪个晶轴与外延薄膜的晶轴对应。文中提到通过phi峰的对应关系来确定，但由于才疏学浅，无法理解其中涵义，还请大家帮小弟分析分析，或者能提供相关phi扫描分析的相关资料，供学习。谢谢大家了，小弟感激不尽！ |
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本内容由用户自主发布，如果其内容涉及到知识产权问题，其责任在于用户本人，如对版权有异议，请联系邮箱：xiaomuchong@tal.com - 附件 1 : 2002-APL-Structural_characterization_of_nonpolar_„112ˉ0_a-plane_GaN_thin_films_grown_on_„11ˉ02_r-plane_sapphire.pdf
- 附件 2 : 2009-Acta_M-Thin_film_epitaxy_and_structure_property_correlations_for_non-polar_ZnO_films.pdf
- 附件 3 : 2010-Acta_M-Nonpolar_ZnO_film_growth_and_mechanism_for_anisotropic_in-plane_strain_relaxation.pdf
2013-07-08 15:14:57, 444.7 K
2013-07-08 15:15:42, 1.72 M
2013-07-08 15:16:07, 780.35 K
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YANG5377
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