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Sapphire 蓝宝石衬底和Al2O3衬底的区别
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求教,用sputter生长薄膜时看到文献中经常用到Sapphire的衬底,取向是(0001)等,也看到有用Al2O3作为沉底生长的,Sapphire是Al2O3的其中一种吗?这两种有什么区别? |
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