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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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xiris

金虫 (初入文坛)

[求助] 三氧化二铝薄膜刻蚀 已有1人参与

有谁知道三氧化二铝薄膜刻蚀是怎么刻蚀的?干刻和湿刻分别请解释下,多谢!
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exciting73

金虫 (著名写手)


【答案】应助回帖

干刻、湿刻都可以,主要看蚀刻的精度、侧壁陡直度要求。
2楼2014-11-19 21:21:53
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xiris

金虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by exciting73 at 2014-11-19 21:21:53
干刻、湿刻都可以,主要看蚀刻的精度、侧壁陡直度要求。

干刻用的什么气体?湿刻用的什么试剂?
3楼2014-11-25 22:10:39
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