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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 综合其它 » 三氧化二铝薄膜刻蚀
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xiris

金虫 (初入文坛)

[求助] 三氧化二铝薄膜刻蚀 已有1人参与

有谁知道三氧化二铝薄膜刻蚀是怎么刻蚀的？干刻和湿刻分别请解释下，多谢！
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1楼 2014-11-07 12:12:35
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exciting73

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

干刻、湿刻都可以，主要看蚀刻的精度、侧壁陡直度要求。
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2楼2014-11-19 21:21:53
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xiris

金虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by exciting73 at 2014-11-19 21:21:53
干刻、湿刻都可以，主要看蚀刻的精度、侧壁陡直度要求。

干刻用的什么气体？湿刻用的什么试剂？
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3楼2014-11-25 22:10:39
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