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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 薄膜应力去除
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我的芝麻

木虫 (小有名气)

[求助] 薄膜应力去除 已有1人参与

请问怎样减小或者去除多层薄膜的内部应力？我加工的很薄的悬空薄膜在加热的时候老是断裂。薄膜主要组成是：热氧的二氧化硅，上面一层磁控溅射的金属铂电极，覆盖一层PE-CVD长得氮化硅。想要承受700℃的高温，但加热时不是铂电极翘起氮化硅开裂就是二氧化硅断裂，试了几次快速退火都不行哎。。。

薄膜应力去除
IMG_20140830_182024[1].jpg
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用心做好一件事
1楼 2014-10-20 11:31:06
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer
引用回帖:
3楼: Originally posted by 我的芝麻 at 2014-10-22 09:14:42
谢谢您，可否具体说一下什么过度层？
我们当时为了保证金属铂跟下面二氧化硅的粘附性，中间加了一层铬。...

查一下各种材料的热膨胀系数。寻找一种能和铂和二氧化硅既能紧密粘结，而且其热膨胀系数也在铂和二氧化硅之间的材料。
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4楼2014-10-22 09:25:19
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
开裂的原因很可能是不同材料之间的热膨胀系数差异太大引起过大的温度应力所导致。能否考虑在热膨胀系数差异较大的层间增加一层中间过渡层呢？
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» 本帖已获得的红花（最新10朵）

我的芝麻
2楼2014-10-20 16:05:33
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我的芝麻

木虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2014-10-20 16:05:33
开裂的原因很可能是不同材料之间的热膨胀系数差异太大引起过大的温度应力所导致。能否考虑在热膨胀系数差异较大的层间增加一层中间过渡层呢？

谢谢您，可否具体说一下什么过度层？
我们当时为了保证金属铂跟下面二氧化硅的粘附性，中间加了一层铬。
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用心做好一件事
3楼2014-10-22 09:14:42
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