24小时热门版块排行榜    

北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
查看: 1096  |  回复: 3

我的芝麻

木虫 (小有名气)

[求助] 薄膜应力去除 已有1人参与

请问怎样减小或者去除多层薄膜的内部应力?我加工的很薄的悬空薄膜在加热的时候老是断裂。薄膜主要组成是:热氧的二氧化硅,上面一层磁控溅射的金属铂电极,覆盖一层PE-CVD长得氮化硅。想要承受700℃的高温,但加热时不是铂电极翘起氮化硅开裂就是二氧化硅断裂,试了几次快速退火都不行哎。。。

薄膜应力去除
IMG_20140830_182024[1].jpg
回复此楼

» 本帖@通知

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

用心做好一件事
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
开裂的原因很可能是不同材料之间的热膨胀系数差异太大引起过大的温度应力所导致。能否考虑在热膨胀系数差异较大的层间增加一层中间过渡层呢?

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

2楼2014-10-20 16:05:33
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

我的芝麻

木虫 (小有名气)

送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2014-10-20 16:05:33
开裂的原因很可能是不同材料之间的热膨胀系数差异太大引起过大的温度应力所导致。能否考虑在热膨胀系数差异较大的层间增加一层中间过渡层呢?

谢谢您,可否具体说一下什么过度层?
我们当时为了保证金属铂跟下面二氧化硅的粘附性,中间加了一层铬。
用心做好一件事
3楼2014-10-22 09:14:42
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


引用回帖:
3楼: Originally posted by 我的芝麻 at 2014-10-22 09:14:42
谢谢您,可否具体说一下什么过度层?
我们当时为了保证金属铂跟下面二氧化硅的粘附性,中间加了一层铬。...

查一下各种材料的热膨胀系数。寻找一种能和铂和二氧化硅既能紧密粘结,而且其热膨胀系数也在铂和二氧化硅之间的材料。
4楼2014-10-22 09:25:19
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 我的芝麻 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 材料科学与工程求调剂 +5 深V宿舍吧 2026-03-29 5/250 2026-03-29 19:10 by 学员8dgXkO
[考研] 299求调剂 +10 15188958825 2026-03-25 10/500 2026-03-29 17:51 by 王亮_大连医科大
[考研] 275求调剂 +13 Micky11223 2026-03-25 18/900 2026-03-29 16:23 by 学员8dgXkO
[考研] 329求调剂 +10 钮恩雪 2026-03-25 10/500 2026-03-29 13:32 by peike
[考研] 349求调剂 +6 李木子啊哈哈 2026-03-25 6/300 2026-03-29 12:47 by 无际的草原
[考研] 343求调剂 +6 爱羁绊 2026-03-29 6/300 2026-03-29 12:00 by 无际的草原
[考研] 348求调剂 +5 小懒虫不懒了 2026-03-28 5/250 2026-03-29 10:34 by 唐沐儿
[考研] 本科双非材料,跨考一志愿华电085801电气,283求调剂,任何专业都可以 +6 芝士雪baoo 2026-03-28 8/400 2026-03-29 08:16 by 松花缸1201
[考研] 0856求调剂 +13 zhn03 2026-03-25 14/700 2026-03-29 08:13 by fmesaito
[考研] 315求调剂 +4 akie... 2026-03-28 5/250 2026-03-28 21:05 by zhq0425
[考研] 295材料工程专硕求调剂 +7 1428151015 2026-03-27 7/350 2026-03-28 19:58 by S240
[考研] 一志愿华理,数一英一285求A区调剂 +8 AZMK 2026-03-25 12/600 2026-03-28 18:15 by AZMK
[考研] 本科新能源科学与工程,一志愿华理能动285求调剂 +3 AZMK 2026-03-27 5/250 2026-03-28 16:19 by xxxsssccc
[考研] 086502化学工程342求调剂 +6 阿姨复古不过 2026-03-27 6/300 2026-03-28 07:06 by wangy0907
[考研] 291求调剂 +7 孅華 2026-03-22 7/350 2026-03-28 04:02 by fmesaito
[考研] 08开头275求调剂 +4 拉谁不重要 2026-03-26 4/200 2026-03-27 14:12 by Delta2012
[考研] 材料科学与工程 317求调剂 +4 JKSOIID 2026-03-26 4/200 2026-03-26 15:58 by 不吃魚的貓
[考研] 一志愿 南京邮电大学 288分 材料考研 求调剂 +3 jl0720 2026-03-26 3/150 2026-03-26 13:39 by zzll406
[考研] 080500求调剂 +3 zzzzfan 2026-03-24 3/150 2026-03-24 16:38 by barlinike
[考研] 328求调剂 +4 LHHL66 2026-03-23 4/200 2026-03-23 14:55 by lbsjt
信息提示
请填处理意见