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我的芝麻木虫 (小有名气)
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薄膜应力去除 已有1人参与
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请问怎样减小或者去除多层薄膜的内部应力？我加工的很薄的悬空薄膜在加热的时候老是断裂。薄膜主要组成是：热氧的二氧化硅，上面一层磁控溅射的金属铂电极，覆盖一层PE-CVD长得氮化硅。想要承受700℃的高温，但加热时不是铂电极翘起氮化硅开裂就是二氧化硅断裂，试了几次快速退火都不行哎。。。  IMG_20140830_182024[1].jpg |
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