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gaala新虫 (小有名气)
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[求助]
怎么去除薄膜表面的含氟聚合物？ 已有1人参与
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各位大侠，我是做MEMS/NEMS的，来高分子版块请教哈：我打算拿Kapton的一款薄膜做flexible substrate，但是发现该薄膜表面有一层含氟聚合物（查的数据手册，叫做fluorocarbon resin），而又发现该层含氟聚合物是疏水的，所以我光刻的时候，没办法涂胶上去的啊，不知道我应该怎么处理呢？ 还望不吝赐教！ 谢谢啦！ |
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2楼2014-04-04 13:27:16
gaala
新虫 (小有名气)
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- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
3楼2014-04-07 02:57:10
userhung
禁虫 (文学泰斗)
木虫博士
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- 专业: 粒子物理学和场论
4楼2014-04-07 08:19:01
