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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 高分子 » 高分子化学 » 怎么去除薄膜表面的含氟聚合物？
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gaala

新虫 (小有名气)

[求助] 怎么去除薄膜表面的含氟聚合物？ 已有1人参与

各位大侠，我是做MEMS/NEMS的，来高分子版块请教哈：我打算拿Kapton的一款薄膜做flexible substrate，但是发现该薄膜表面有一层含氟聚合物（查的数据手册，叫做fluorocarbon resin），而又发现该层含氟聚合物是疏水的，所以我光刻的时候，没办法涂胶上去的啊，不知道我应该怎么处理呢？
还望不吝赐教！ 谢谢啦！
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1楼 2014-04-04 02:18:43
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gaala

新虫 (小有名气)
顶一下！
2楼2014-04-04 13:27:16
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gaala

新虫 (小有名气)
呼叫大侠。。。顶！
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3楼2014-04-07 02:57:10
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userhung

禁虫 (文学泰斗)

木虫博士

【答案】应助回帖

参考一下~~~~~~~~~~~~~~~~~

http://www.docin.com/p-119836659.html

http://www.doc88.com/p-293590555773.html

http://wenku.baidu.com/view/94319ed2240c844769eaee53.html
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4楼2014-04-07 08:19:01
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