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gaala

新虫 (小有名气)

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[求助] 怎么去除薄膜表面的含氟聚合物？已有1人参与

各位大侠，我是做MEMS/NEMS的，来高分子版块请教哈：我打算拿Kapton的一款薄膜做flexible substrate，但是发现该薄膜表面有一层含氟聚合物（查的数据手册，叫做fluorocarbon resin），而又发现该层含氟聚合物是疏水的，所以我光刻的时候，没办法涂胶上去的啊，不知道我应该怎么处理呢？
还望不吝赐教！谢谢啦！

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1楼 2014-04-04 02:18:43

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userhung

禁虫 (文学泰斗)

木虫博士

应助: 1505 (讲师)
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虫号: 119626
注册: 2005-11-28
专业: 粒子物理学和场论

【答案】应助回帖

参考一下~~~~~~~~~~~~~~~~~

http://www.docin.com/p-119836659.html

http://www.doc88.com/p-293590555773.html

http://wenku.baidu.com/view/94319ed2240c844769eaee53.html

4楼2014-04-07 08:19:01

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

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gaala

新虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 3272.2
红花: 1
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在线: 30小时
虫号: 2114199
注册: 2012-11-08
性别: GG
专业: 半导体微纳机电器件与系统

呼叫大侠。。。顶！

3楼2014-04-07 02:57:10

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