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关于电子束蒸发镀Mn的工艺 已有1人参与
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最近实验室需要用电子束蒸发镀Mn，用的是烧结压制成型的Mn料，抽到要求真空度（大约4*10-6Torr）后开始蒸镀，但电子枪的功率刚刚开始增加，真空度就急剧下降，程序自动停止。想请教大家有没有电子束镀Mn的经验，怎么样才能实现呢？非常感谢 |
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julietzhu
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