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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » CVD设备中的流量与压强问题
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haosonghappy

铁杆木虫 (著名写手)

Dr.

[交流] CVD设备中的流量与压强问题

我的CVD设备以前是400SCCM的流量可以维持管内压强为4KPa，而现在同样的流量只能维持300Pa，不知为什么?没有检查到漏气的地方
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Wer mit Ungeheuern kämpft, mag zusehn, dass er nicht dabei zum Ungeheuer wird. Und wenn du lange in einen Abgrund blickst, blickt der Ab
1楼 2014-08-26 17:58:19
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avgon

至尊木虫 (著名写手)
★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
haosonghappy: 金币+2 2014-08-26 21:48:51
1. 钢瓶内气压变得不足 2. 泵抽速变快/原来抽气的管道设有阀门，阀门打开程度变大  3.还未检查到漏气位置
这些都有可能是此问题的原因
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仰望星空脚踏实地
2楼2014-08-26 19:58:47
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haosonghappy

铁杆木虫 (著名写手)

Dr.
引用回帖:
2楼: Originally posted by avgon at 2014-08-26 19:58:47
1. 钢瓶内气压变得不足 2. 泵抽速变快/原来抽气的管道设有阀门，阀门打开程度变大  3.还未检查到漏气位置
这些都有可能是此问题的原因

你好，钢瓶气压足够，有13mpa，还是同一个泵啊，阀门打开程度未变，只是前几天对机械泵进行了除水汽，难道有影响么？
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Wer mit Ungeheuern kämpft, mag zusehn, dass er nicht dabei zum Ungeheuer wird. Und wenn du lange in einen Abgrund blickst, blickt der Ab
3楼2014-08-26 21:50:34
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avgon

至尊木虫 (著名写手)
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
haosonghappy: 金币+1 2014-08-27 08:36:51
引用回帖:
3楼: Originally posted by haosonghappy at 2014-08-26 21:50:34
你好，钢瓶气压足够，有13mpa，还是同一个泵啊，阀门打开程度未变，只是前几天对机械泵进行了除水汽，难道有影响么？...

有可能，不排除这种影响，你这问题如果正好出现在除水汽后，那就肯定与这个过程有关了，再仔细去考察下，应该就会发现问题。
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仰望星空脚踏实地
4楼2014-08-26 22:51:46
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cord

铁杆木虫 (著名写手)
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
haosonghappy: 金币+1 2014-08-27 08:37:01
引用回帖:
3楼: Originally posted by haosonghappy at 2014-08-26 06:50:34
你好，钢瓶气压足够，有13mpa，还是同一个泵啊，阀门打开程度未变，只是前几天对机械泵进行了除水汽，难道有影响么？...

抽力增强了，可以相应的减小阀门打开程度。
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5楼2014-08-26 23:58:54
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阿Q~~

至尊木虫 (文坛精英)
★
haosonghappy: 金币+1 2014-08-27 08:37:08
帮顶 ~~~~~~~~~~~~~
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自强不息，厚德载物；独立精神，自由思想。
6楼2014-08-27 07:13:06
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
haosonghappy: 金币+1 2014-08-27 08:37:13
检查气泵的功率输出有无问题；检查减压阀、溢流阀的设置有无问题或变动。
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7楼2014-08-27 08:22:03
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ljl520

木虫 (正式写手)

鸡腿儿
★ ★
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haosonghappy: 金币+1 2014-08-27 08:46:31
现在真空度可是变低了啊，说明相同进气流量下抽气速率变大了，跟漏气没关系啊，是不是泵的性能发生了变化
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低调做人，低调做事，做对的事儿
8楼2014-08-27 08:42:20
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haosonghappy

铁杆木虫 (著名写手)

Dr.
引用回帖:
7楼: Originally posted by peterflyer at 2014-08-27 08:22:03
检查气泵的功率输出有无问题；检查减压阀、溢流阀的设置有无问题或变动。

减压阀没有问题，只是质子流量计的示数跳动很大，不知什么原因？
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Wer mit Ungeheuern kämpft, mag zusehn, dass er nicht dabei zum Ungeheuer wird. Und wenn du lange in einen Abgrund blickst, blickt der Ab
9楼2014-08-27 08:45:04
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haosonghappy

铁杆木虫 (著名写手)

Dr.
引用回帖:
8楼: Originally posted by ljl520 at 2014-08-27 08:42:20
现在真空度可是变低了啊，说明相同进气流量下抽气速率变大了，跟漏气没关系啊，是不是泵的性能发生了变化

机械泵的性能怎么会发生变化呢？只是对其进行了除水汽
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10楼2014-08-27 08:46:24
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